[发明专利]一种用于光学检测的气浮支撑工装在审
申请号: | 201810295949.7 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN108981521A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 黄斌;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 长春国科精密光学技术有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B11/24;G01B11/255 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定心 定心机构 光学元件 平面螺纹 定心座 气浮 软爪 底座 光学检测 检测结果 径向定位 支撑工装 滚轮 同步径向移动 准确度 滚轮连接 支撑组件 中心设置 可信度 面型 测量 检测 支撑 保证 | ||
1.一种用于光学检测的气浮支撑工装,其特征在于,包括底座(2)和安装于所述底座(2)的定心机构,所述定心机构包括设置于所述底座(2)上方的定心座(4)、固定连接所述定心座(4)的定心平台(11)和安装于所述定心座(4)及所述定心平台(11)之间的定心平面螺纹滚轮(10),所述定心平面螺纹滚轮(10)连接有多个用于径向定位光学元件的软爪,旋转所述定心平面螺纹滚轮(10)能够带动多个所述软爪同步径向移动,多个所述软爪中心设置有用于支撑光学元件的气浮支撑组件。
2.根据权利要求1所述的气浮支撑工装,其特征在于,多个所述软爪分别通过多个定心连杆(12)连接所述定心平面螺纹滚轮(10)。
3.根据权利要求2所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述定心平台(11)上设置有多个沿径向方向延伸的滑槽,所述定心连杆(12)设置于所述滑槽内并能够沿所述滑槽的延伸方向移动。
4.根据权利要求3所述的气浮支撑工装,其特征在于,包括三个均匀分布的所述滑槽、三个所述软爪和三个所述定心连杆(12)。
5.根据权利要求1所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述气浮支撑组件包括中空的气浮支撑套筒(15)和安装于所述气浮支撑套筒(15)上方的气浮垫(14),所述气浮支撑套筒(15)贯穿所述定心机构的中心,且所述底座(2)中心设置有与所述气浮支撑套筒(15)内孔同心的通孔。
6.根据权利要求1所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述底座(2)上安装有拉手(3)。
7.根据权利要求1所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述底座(2)底面设置有用于配合检测仪器的定位销(1)。
8.根据权利要求1至7任意一项所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述底座(2)和所述定心机构之间安装有高度调节机构。
9.根据权利要求8所述的气浮支撑工装,其特征在于,所述高度调节机构包括螺纹手轮(5)、上部螺纹套筒(9)和动平台(8),所述螺纹手轮(5)活动安装于所述底座(2)上方,所述上部螺纹套筒(9)螺纹连接于所述螺纹手轮(5)上方,所述动平台(8)固定连接于所述上部螺纹套筒(9)上方,所述定心机构安装于所述动平台(8)上方,转动所述螺纹手轮(5)能够驱动所述动平台(8)竖直移动。
10.根据权利要求9所述的气浮支撑工装,其特征在于,还包括竖直设置的导向轴(6),所述导向轴(6)的两端分别连接所述底座(2)和所述动平台(8)。
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