[发明专利]一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置有效
| 申请号： | 201810296131.7 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108393793B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王占奎;苏建修;左敦稳;梁明超;姚建国;马利杰;李勇峰;刘亚明;付素芳 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 453003 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气吸式免粘 单面 用工 承载 装置 | ||
1.一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，它包括吸盘(11)，其特征是所述的吸盘(11)的中心设有一个活塞腔(14)，活塞(7)安装在活塞腔(14)中，活塞(7)通过安装有测微部件的调节螺旋体(10)与气缸盖(15)相连，气缸盖(15)与吸盘(11)通过连接螺钉(9)相连，转动调节螺旋体(10)即可调节活塞在活塞腔(14)中的位置，进而调节活塞下部的活塞腔中的压力；所述吸盘(11)上设有径向孔(17)，所述径向孔(17)与活塞腔(14)相连通；活塞腔(14)的下部开设有吸气孔(16)，吸气孔产生负压将安装在吸盘(11)下部的工件(1)吸住；所述吸气孔(16)的布局方式应保证压力分布均匀；部分吸气孔(16)直接与活塞腔(14)相连通，部分吸气孔(16)通过径向孔(17)与活塞腔相连通，在气缸盖(15)上安装有测量吸盘(11)相对位移从而判定工件研抛量的位移传感器(12)。
2.根据权利要求1所述的气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，其特征是在吸盘(11)的下部安装有弹性材料层(2)，弹性材料层(2)上也开设有与吸气孔(16)相配的通孔。
3.根据权利要求1所述的气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，其特征是所述的吸盘(11)底部安装有多个测量吸力的压电传感器(3)，压电传感器(3)的触头穿过弹性材料层(2)与工件(1)相接触。
4.根据权利要求1所述的气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，其特征是在径向孔(17)的外侧安装有刚性密封垫片(4)和弹性密封件(6)，刚性密封垫片(4)和弹性密封件(6)通过径向孔台阶面和密封螺母(5)实现其在径向孔中的定位从而实现径向孔(17)外侧的密封。
5.根据权利要求1所述的气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，其特征是所述的位移传感器(12)为电涡流位移传感器。
6.根据权利要求1或5所述的气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，其特征是所述的位移传感器(12)的测量基准为机床上的测量杆、尺或套装在吸盘外侧的修整环(13)的上端面。
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