[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201810298347.7 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108692745A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 木原竜儿 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬架部 物理量传感器 固定电极部 电子设备 固定部 移动体 主面 可动电极部 方向交叉 固定电极 可动电极 宽度比 延出部 延伸 基板 申请 | ||
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
基体；
悬架部，与所述基体相对而设置；
固定部，将所述悬架部固定于所述基体；
固定电极部，在俯视观察中所述固定电极部以长边方向沿与所述悬架部和所述固定部排列的第一方向正交的第二方向的方式设于所述悬架部；以及
可动电极部，设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，
在俯视观察中，所述悬架部的沿所述第二方向的宽度在沿所述第一方向而与所述固定部一侧相反一侧比所述固定部一侧窄。
2.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
基体；
悬架部，与所述基体相对而设置；
固定部，将所述悬架部固定于所述基体；
固定电极部，在俯视观察中所述固定电极部以长边方向沿与所述悬架部和所述固定部排列的第一方向正交的第二方向的方式设于所述悬架部；以及
可动电极部，设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，
所述悬架部设有凹部和贯通孔中至少任一方。
3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
在俯视观察中，所述悬架部的沿所述第二方向的宽度随着从所述固定部一侧起朝着所述第一方向而变窄。
4.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
在俯视观察中，所述固定部与所述悬架部不重叠。
5.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
所述物理量传感器包括连结部，所述连结部在俯视观察中配置于所述悬架部与所述固定部之间并与所述悬架部和所述固定部连接。
6.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
在俯视观察中，所述固定部与所述悬架部的至少一部分重叠。
7.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，
所述物理量传感器包括两个所述悬架部，
在俯视观察中所述固定部配置于两个所述悬架部之间。
8.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求1或2所述的物理量传感器。
9.一种移动体，其特征在于，包括：
权利要求1或2所述的物理量传感器；以及
姿势控制装置，根据来自所述物理量传感器的检测信号而控制姿势。
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