[发明专利]OLED蒸镀坩埚

说明书

本发明公开了OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。本发明通过喷嘴转动设置降低了喷嘴处降温速度，这样在整个蒸镀过程中只需控制好转轴的转速，就能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，这样避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况；或者通过将喷嘴采用钢管并配合电涡流的方式使得喷口处钢管的温度达到防止蒸镀蒸汽在喷口冷凝的温度，也避免了蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。

技术领域

本发明涉及OLED蒸镀坩埚。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。而在蒸镀中蒸镀坩埚是应用得较多的一个设备，现有的技术中，蒸镀钳锅包括坩埚本体和喷嘴，坩埚本体中设置有加热装置，而喷嘴处没有加热装置，因此蒸镀过程中蒸镀材料容易沉积在喷嘴口处，导致喷嘴堵塞，影响到正常的蒸镀速率，使得蒸镀的时间变长。此外，在蒸镀过程中蒸镀材料在喷嘴口处冷却后，部分会回流到坩埚内，当再次被加热蒸发时，会以大分子或分子团的形式进行蒸镀，影响到膜层的均匀性，并且经过一次加热蒸发的材料，往往会部分变性，再次蒸镀这些回流材料会使显示器件中的膜层性能受到影响。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供OLED蒸镀坩埚，实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，可以避免蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚本体上设置的蒸镀蒸汽喷出结构，蒸镀蒸汽喷出结构包括用于蒸镀蒸汽喷出或溢出的喷口，蒸镀蒸汽喷出结构上设置有防喷口堵塞机构。防喷口堵塞机构的设置能实现喷嘴其喷口处始终处于一个还算较高的温度，可以避免蒸镀蒸汽在经过喷嘴时冷凝而堵塞喷口的情况。

进一步的技术方案是，蒸镀蒸汽喷出结构为管状喷嘴，喷口为喷嘴的两个端口，防喷口堵塞机构包括转动设置在坩埚本体上顶板内的转轴，转轴上连接若干个喷嘴，相邻喷嘴设有间距，所有喷嘴在转轴上摆放位置相同，转轴的轴线与喷嘴的轴线垂直设置，转轴连接在喷嘴外周面其轴向的中间位置，上顶板上设置呈矩形的喷嘴旋转孔，喷嘴旋转孔其长与喷嘴的高相适配，喷嘴旋转孔其宽与喷嘴的最大外径相适配，喷嘴旋转孔的数量与喷嘴的数量一致；转轴有一端伸出上顶板的侧边并与传动机构的输出轴相连。这样将原先的喷嘴长度增大一倍，多出来的部分设置在坩埚本体内，这样喷嘴下端靠近加热源，温度较高，喷嘴可以采用比坩埚本体导热系数高的材质，设置好传动机构(传动机构与脉冲式驱动机构相连)其启动频率，则可以实现在整个蒸镀的过程中一旦喷口处温度降低则将喷口转至坩埚本体内，而将位于下方的喷嘴调至上方充当喷口。

进一步的技术方案是，喷嘴采用导热系数高于坩埚本体的材质制成，喷嘴的外周面套设保温层；所述传动机构为减速机，减速机由电机驱动，电机及减速机设置在坩埚外部；转轴上固定连接或卡接若干个喷嘴。电机的得电是脉冲式的，大部分时候是断电的，需要调换喷嘴上下方向时才得电，然后转轴旋转至喷嘴上下口调换后电机又失电。保温层采用耐高温隔热材料制成，并且这样的设置不需要额外增加热源，就利用坩埚本身的热源，相比于直接在喷嘴处加设热源大大节约了热量的消耗，结构也相对简单。