[发明专利]玻璃硬化光学镀膜腔体

说明书

本发明公开了玻璃硬化光学镀膜腔体，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。本发明提前将靶材加工成若干个丝状或扁条状的靶材体，这样等于在腔体底板上均匀摊铺靶材，避免了蒸镀蒸汽在基材上散布不均，在基材上镀得的膜厚薄均一；冷却套和加热套的设置使得对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀，并且简化了冷却结构，省去了真空腔体的冷却水管。

技术领域

本发明涉及玻璃硬化光学镀膜腔体。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

现在的蒸镀工艺都需要经历抽真空、加热及镀膜等一系列过程，而在镀膜之前的加热过程中，由于靶材都是放在腔体底板中部，但这样靶材等于是聚成一团接收加热源的加热，仅位于腔体顶板中部的基材上蒸镀蒸汽较多，而位于腔体顶板非中部的基材则镀得的膜比较薄，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供玻璃硬化光学镀膜腔体，能够避免蒸镀蒸汽在基材上散布不均，在基材上镀得的膜厚薄均一；对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀，并且简化了冷却结构，省去了真空腔体的冷却水管。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计玻璃硬化光学镀膜腔体，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。这样将原先聚成一团的置于腔体底板中部的靶材分散成多个条或丝，然后均布在腔体底板上，相当于在腔体底板上均匀摊铺靶材，这样整个腔体顶板上不论设置多少块基材，不论基材怎么布置，蒸镀蒸汽都能均匀分散到腔体顶板上，所以能够均匀沉积，做到每一个基材的镀膜都膜厚一致。

进一步的技术方案是，腔体还包括包覆设置在腔体本体外表面上的冷却套，冷却套呈槽状，槽内壁的形状与腔体本体上部分的外形相适配，冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口。冷却套套设在腔体本体的上部，这样不像以往还需要在腔体外表或内壁焊接呈S形设置的冷却水管，使得腔体的冷却结构变得简单，并且通过这种冷却套的方式，将腔体本体均匀包覆，冷却效果相比冷却水管要更均匀，因为冷却水管之间存在间隙，而冷却水管处冷却效果在初始阶段是高于未设冷却水管处的冷却效果的，但这种冷却套的方式则冷却效果很均一；冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口能够将冷却介质循环利用。

进一步的技术方案是，冷却套包括紧贴腔体本体外表面上的金属材质的导热面；冷却介质为冷却水或冷却空气。这样冷却套中紧靠腔体本体的那一层为导热效果好的金属材质，冷却套的其他表面可以采用隔热效果好的材料如陶瓷等；也可以整个冷却套都采用金属材质制成，加工方便，还使得冷却后的冷却套可以将部分热量传递给冷却套外的空气。