[发明专利]一种以制冷机为冷源耦合固定点的温度标定系统在审
申请号: | 201810307454.1 | 申请日: | 2018-04-08 |
公开(公告)号: | CN108318157A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 高波;张海洋;罗二仓;陈燕燕;潘长钊;陈慧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | G01K19/00 | 分类号: | G01K19/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微波谐振腔 制冷机 温度标定系统 密闭空间 耦合固定 冷源 固定点部件 补偿环路 测温装置 复现装置 量值传递 时间成本 实验成本 温度测量 温度漂移 压力环境 热开关 微流量 相耦合 谐振腔 测温 分度 复现 冷头 热容 环节 | ||
1.一种以制冷机为冷源耦合固定点的温度标定系统,其包括:制冷机,其具有至少两个冷头;至少一密闭空间,起到热开关的作用;其特征在于:在所述密闭空间中设置有微波谐振腔,微流量补偿环路为所述微波谐振腔提供稳定的压力环境,在所述微波谐振腔内设置有固定点部件。
2.如权利要求1所述的温度标定系统,其特征在于:所述固定点部件通过耦合连接件与微波谐振腔相连接。
3.如权利要求2所述的温度标定系统,其特征在于:所述耦合连接件采用圆柱体、长方体、或多面体等结构。
4.如权利要求2所述的温度标定系统,其特征在于:所述固定点部件包含多个固定点复现单元。
5.如权利要求2所述的温度标定系统,其特征在于:所述热开关的工作介质为氦气、氖气、氩气、或氮气等气体。
6.如权利要求1所述的温度标定系统,其特征在于:所述至少一密闭空间包括第一密闭空间和第二密闭空间。
7.如权利要求6所述的温度标定系统,其特征在于:零级法兰、中空复合真空罩的内表面、二级法兰和独立真空筒的外表面组成所述第一密闭空间。
8.如权利要求6所述的温度标定系统,其特征在于:独立真空筒与二级法兰构成所述第二密闭空间。
9.如权利要求8所述的温度标定系统,其特征在于:在所述第二密闭空间内包括压力腔,所述微波谐振腔位于所述压力腔内。
10.如权利要求9所述的温度标定系统,其特征在于:所述微波谐振腔采用准球形、圆柱形、或多面体等几何结构;所述微波谐振腔的腔体材料为高导无氧铜等金属材料、或蓝宝石等非金属材料、或超导材料等固体材料;或者上述材料组成的复合材料。
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