[发明专利]具有定位精度的开尔文连接

说明书

本申请公开了具有定位精度的开尔文连接。一种用于对部件(10)进行电气测试的测试装置(98)，所述部件具有部件本体(12)以及一个或多个部件触点(14)，所述一个或多个部件触点(14)与所述部件本体(12)的正交于接触方向(C)的一侧(16)相邻或从所述侧(16)延伸，所述部件触点(14)电连接至布置在所述部件本体(12)中的电气电路(18)。所述测试装置(98)具有用于电连接至所述部件触点(14)中的至少一个的两个或更多个测试端子(22)，所述两个或更多个测试端子(22)被安排成基本上彼此平行并在不同于所述接触方向(C)的端子方向(T)上延伸。

技术领域

本发明涉及使用具有四点端子感测的四点探针来准确地测量诸如双端子电阻器等装置的电阻的鲁棒测试夹具。

背景技术

传感器广泛用于电子装置中以测量环境的属性并报告经测量信号值。在许多传感器中并且对于许多应用，电流或电压测量是与期望环境特性相对应的直接感测物理属性。

通常通过在传感器电气电路中放置具有良好特性电阻的串联连接电阻器来进行准确的电流测量。电阻器两端的电压与使用欧姆定律的电流相对应，其中，电流等于电压除以电阻(或V＝IR)。因此，准确的电流测量需要准确的电压测量以及对串联连接电阻器的电阻的准确了解。为了降低传感器的功率损耗，串联连接电阻器通常具有小电阻，并且可能需要大电流来充分地测量小电阻。因此，准确地测量电流传感器中的电阻器两端的小电压是重要的。

一种用于双端子装置两端的准确电压测量的技术是使用具有跨双端子装置(诸如感测电阻器)连接的两对电连接(通常被称为开尔文连接)的四点探针的四点端子感测。四端子感测使用用于提供电流的两个端子(电极)以及用于感测电压的两个单独端子(电极)，从而将通过电阻器的电流路径与电阻器两端的电压降分离开并且从电压测量中消除电流电路的引线和接触电阻。用于感测电压的电连接通常被称为感测接触(或感测引线)，并且用于提供电流的电连接通常被称为力接触(或力引线)。四线连接通过直接感测电阻器两端的电压降而排除电流供应连接来提高测量精度。由于电压测量装置(电压表)通常具有非常大的阻抗，所以电压表探针或触点两端的任何电压降都相对较小并且可以被忽略。

还已知三点式探针，所述三点式探针仅具有用于电压感测的一个电连接、与用于提供电流的电连接分离。推测用于电压感测的第二电连接与这个电连接相同。

部件通常在测试夹具中进行测试，以确保其在出售之前功能正常。测试准确并代表部件性能是重要的。为了降低测试成本，部件测试过程可以以较高速率完成，使测试过程具有挑战性。WO 2011/141582中描述了电接触和测试平台。根据此测试设计，测试装置的三个或更多个叶片电接触至部件的每个测试电触点(引脚、引线)。这三个或更多个叶片在与部件电接触从部件封装体的延伸平行的方向上纵向延伸。这三个或更多个叶片促进叶片中的至少两个与部件电触点之间的电连接，以便即使当部件相对于叶片旋转或偏移时也在叶片与触点之间形成电连接。这三个或更多个叶片可以与四点探针的每对端子连接相对应并且电接触，并且提供对部件电流使用的更准确电流测量。

在US 2008/238456中描述了用于半导体装置的电气测试的半导体检查设备。检查设备包括竖直地堆叠在彼此之上的不同形状的感测探针和力探针，由此感测探针的尖端部分直接接触力探针的较大平坦部分。

US 2012/133383中描述了包括探针和探针卡的电子装置测试设备。本申请中公开的探针包括弯曲的梁部分，这使得所述探针适用于使其输入端子和输出端子以二维方式(例如，以两列或更多列)安排的测试装置。

为了从单独的电压测量开尔文连接中受益，重要的是将电压感测端子尽可能靠近电阻器定位以便减小电压感测引线电阻。此外，重要的是将测试引线定位在相对于在存在部件位置变化时是鲁棒的被测试部件(装置)的位置中。因此，需要将电压感测引线准确地定位到测试夹具中的所测量部件的装置、系统、结构和方法。

发明内容

本发明实施例的目标是提供用于电气测试的良好手段。