[发明专利]一种广角宽谱柔性减反射薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 201810312467.8 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108594340A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张浩;娄朝刚;黄小丹;於孝建;杨桦 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B1/11;C23C14/35;C23C14/26 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 卢倩 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减反射薄膜 宽谱 纳米结构 间隔层 制备 薄膜 表面等离子共振 纳米结构单元 纳米结构阵列 纳米金属颗粒 分离单元 光热吸收 基底表面 金属薄膜 纳米单元 纳米间隔 柔性基底 入射波长 生产流程 退火处理 直径不等 入射光 增透膜 反射 应用 | ||
1.一种广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，包括柔性基底、位于基底表面的纳米结构间隔层和位于纳米结构间隔层上方的金属薄膜，所述纳米结构间隔层为直径不等的分离单元组成的纳米阵列。
2.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述纳米结构间隔层为柱状、台状、“之”字状或螺旋状的纳米阵列。
3.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述纳米结构间隔层的厚度为10nm-100nm，纳米结构间隔层的单元的直径小于50nm，相邻单元的间隙小于50nm。
4.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述纳米结构间隔层的材料是二氧化硅、二氧化钛、氮化硅、氟化镁、硅中任意一种或几种的混合。
5.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述金属薄膜的厚度为1nm-15nm。
6.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，形成所述金属薄膜的金属颗粒的尺寸小于50nm，相邻金属颗粒的间隙小于50nm。
7.如权利要求6所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述金属颗粒的尺寸大小不一。
8.如权利要求1所述的广角宽谱柔性减反射薄膜，其特征在于，所述基底材料为导体。
9.如权利要求8所述的广角宽谱柔性减反射薄膜用作光热吸收薄膜。
10.如权利要求1-8任一项所述的广角宽谱柔性减反射薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：利用电子束真空蒸发镀膜法的斜角沉积技术在基底上蒸镀10nm-100nm的间隔层，然后在间隔层上用热蒸发真空镀膜方法或磁控溅射镀膜方法制备1nm-15nm的金属薄膜。
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