[发明专利]快速冷却系统

权利要求书

1.一种快速冷却系统，其特征在于，包括处理设备、冷却装置、侦测装置及控制装置；

所述处理设备包括处理腔室、用于承载制品的制品承载台和加热板；其中，所述制品承载台和所述加热板均位于所述处理腔室内；

所述冷却装置包括气体源、气体管路和阀门，所述气体管路一端与所述气体源相连接，另一端延伸至所述处理腔室内；所述阀门设置于所述气体管路上；

所述侦测装置侦测所述处理设备的工作状态；

所述控制装置，与所述侦测装置及所述阀门相连接，用于根据所述侦测装置反馈的信号控制所述阀门开启或关闭。

2.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述气体源至少包括氮气和惰性气体。

3.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述冷却装置还包括出气口，所述出气口位于所述处理腔室内，所述出气口与所述气体管路延伸至所述处理腔室内的一端相连接，并延伸至所述制品背面。

4.根据权利要求3所述的快速冷却系统，其特征在于，所述出气口的数量为多个，多个所述出气口均匀分布于所述制品承载台上。

5.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述加热板设置于所述制品承载平台上，且位于所述制品的下方，所述加热板用于在处理过程中对所述制品进行加热。

6.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述加热板设置于所述处理腔室的侧壁或顶部，用于在处理过程中对所述制品进行加热。

7.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述处理设备包括回流焊设备。

8.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述处理腔室包括高温区，所述制品承载台和所述加热板均位于所述高温区内。

9.根据权利要求1所述的快速冷却系统，其特征在于，所述阀门为三通阀门，所述快速冷却系统还包括真空装置和第二连通管路；

所述气体管路包括供气管路及第一连通管路，所述供气管路一端与所述气体源相连接，另一端与所述三通阀门相连接，所述第一连通管路一端与所述三通阀相连接，另一端延伸至所述处理腔室内；

所述第二连通管路一端与所述三通阀相连接，另一端与所述真空装置相连接。

10.根据权利要求9所述的快速冷却系统，其特征在于，所述侦测装置包括：

侦测模块，用于侦测所述处理设备的工作状态；

反馈模块，与所述侦测模块及所述控制装置相连接，用于在所述侦测模块侦测到所述处理设备的工作状态为正常状态时向所述控制模块反馈阀门关闭信号，由所述控制装置控制所述三通阀门将所述第一连通管路与所述第二连通管路相连通，且所述第一连通管路与所述供气管路相隔断；并在所述侦测模块侦测到所述处理设备的工作状态为异常状态或紧急停机状态时向所述控制装置反馈阀门开启信号，由所述控制装置控制所述三通阀门将所述第一连通管路与所述供气管路相连通，且所述第一连通管路与所述第二连通管路相隔断。