[发明专利]基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置及处理方法

权利要求书

1.一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，它包括介质阻挡放电反应器，其特征在于：高压电压源（11）的高压电极端与介质阻挡放电反应器的外电极连接；高压电压源的地电极端与介质阻挡放电反应器的地电极接线柱（9）连接；介质阻挡放电反应器的一端设置有进气口接头（2）；另一端设置有出气口接头（10），出气口接头（10）通过管道与尾气吸收池（12）连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：高压电压源（11）为交流电压源，为介质阻挡放电反应器提供正负幅值13kV，频率8.7kHz的高频电压。

3.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：介质阻挡放电反应器包括地电极支架（1）、进气口接头（2）、出气口接头（10）、左右针采样口（3）、左右密封法兰（4）、外层介质管（5）、外电极金属网（6）、内电极（7）、内层介质管（8）和地电极接线柱（9）；所述的左右地电极支架（1）与左右密封法兰（4）固定连接；进气口接头（2）、出气口接头（10）均为6毫米口径气管快插接口；左右针采样口（3）位于左右密封法兰上方；左右密封法兰（4）通过橡胶密封垫圈与外层介质管（5）和内层介质管（8）连接固定；左右密封法兰（4）与内电极（7）连接固定；外电极金属网（6）缠绕在外层介质管（5）的外部，中间部位引出铜线与高频电压源（10）的高压电极连接；地电极接线柱（9）位于右侧地电极支架上；外电极金属网（6）为直径1毫米的铜丝，共100匝；地电极支架（1）为不锈钢材质，用于在反应器两侧支撑介质管并作为反应器的地电极；所述的内电极（7）为金属铜棒，直径为3毫米，长度为360毫米，放置在内层介质管（8）的内部，两侧通过螺丝与左右密封法兰（4）固定；内电极（7）右侧通过密封法兰与地电极支架（1）连接，内电极（7）在介质阻挡放电过程中起到地电极作用。

4.根据权利要求4所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：所述内层介质管（8）为石英玻璃材质，长340毫米，厚度为2毫米，内径2毫米，外径4毫米，通过密封垫圈与左右密封法兰（4）连接；所述外层介质管（5）为石英玻璃材质，长340毫米，厚度为2.5毫米，内径10毫米，外径12.5毫米，通过密封垫圈与左右密封法兰（4）连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：所述左右针采样口（3），分别位于左右密封法兰上，由密封法兰上侧开孔而成，针进样口直径2毫米，孔中填充进样针垫。

6.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：它还包括载气瓶（13），载气瓶（13）出气口管道与六氟化硫进气口管道合流后与进气口接头（2）连接；载气瓶（13）出气口管道上依次安装有第一减压阀（14）、第一电磁流量计（15）和第一电磁阀（16）；六氟化硫进气口管道上依次安装有第二减压阀（17）、第二电磁流量计（18）和第二电磁阀（19）。

7.根据权利要求6所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：载气瓶（13）内存放有Ar气；进气口接头（2）处六氟化硫浓度为5%；气体流量为0.5~5L/min。

8.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的六氟化硫降解处理装置，其特征在于：尾气吸收池（12）出气端设置有二个出气支路，第一出气支路通过第三电磁阀（20）与大气连通；第二出气支路通过第四电磁阀（21）、空气压缩机（22）后与存储气瓶（23）连接。