[发明专利]对齐工具及转印装置在审
申请号: | 201810319553.1 | 申请日: | 2018-04-11 |
公开(公告)号: | CN108987322A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 毛受利彰 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈蕴辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 被粘接体 对齐 抵接部件 转印装置 粘接片材 侧壁 外壁 剥离机构 相对移动 移动机构 点接触 线接触 抵接 凸部 粘贴 剥离 分割 期望 配置 吸引 | ||
本发明提供一种对齐工具及使用该对齐工具的转印装置,其能够切实地使被粘接体对齐为期望的状态。该转印装置具备:保持机构(20),其将一体物(WK)从被粘接体(CP)侧吸引至保持面(21B)并进行保持,该一体物为在第一粘接片材(AS1)的一个表面上粘贴有多个被粘接体或被分割为多个的被粘接体的一体物;剥离机构(30),其从保持面(上保持的一体物剥离第一粘接片材(AS1);对齐工具(40),其在保持面上保持的被粘接体之间配置抵接部件(42),使被粘接体(CP)的外壁(CP1)抵接于该抵接部件(42)的侧壁(42C),使该被粘接体(CP)对齐;移动机构(50),其使保持机构和抵接部件相对移动,对齐工具(40)在侧壁(42C)具备与被粘接体(CP)的外壁(CP1)点接触或线接触的凸部(42E)。
技术领域
本发明涉及一种对齐工具及转印装置。
背景技术
以往,已知通过对齐工具对粘贴于粘接片材的多个被粘接体进行对齐,并转印至其他物体的转印装置(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:(日本)特开2016-54169号公报
发明内容
本发明要解决的问题
然而,在专利文献1记载的现有的对齐装置(转印装置)中,会发生如下的不良情况,即,从芯片CP(被粘接体)剥离的粘接片材AS(粘接片材)的粘接剂残留在该被粘接体上时,该被粘接体可能会粘接于间隔机构30、30A(对齐工具)的刀片32、格子状部件33(抵接部件),即使使对齐工具移动并进行被粘接体的对齐,也不能使该被粘接体对齐为期望的状态。
本发明的目的在于,提供一种对齐工具及使用该对齐工具的转印装置,其能够切实地使被粘接体对齐为期望的状态。
解决问题的手段
本发明采用技术方案中记载的结构。
发明能实现的效果
根据本发明,在抵接部件的侧壁设置与被粘接体的外壁点接触或线接触的凸部,因此,即使通过从被粘接体剥离的粘接片材的粘接剂而使该被粘接体粘接于侧壁,它们的接触面积较小且容易被剥离,也能够切实地使被粘接体对齐为期望的状态。
附图说明
图1是本发明的实施方式涉及的转印装置的侧面图。
图2(A)~(F)是对齐工具进行的被粘接体的定位的动作说明图。
附图标记说明
10 转印装置
20 保持机构
21B 保持面
30 剥离机构
40 对齐工具
42C 侧壁
42E 凸部
50 移动机构
60 粘贴机构
70 衬底机构
71A 吸引孔
AS1 第一粘接片材
AS2 第二粘接片材
CP 被粘接体
CP1 外壁
CP2 被支承面
WK 一体物
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造