[发明专利]一种摇摆振动装置

说明书

本发明公开了一种摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体和第二摇摆振动体；第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧与基座固定连接；第二摇摆振动体位于第一摇摆振动体的右侧面位置，第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧相连接；第一摇摆振动体上设置有第一反光镜片和第一转动惯量调节配重块；第二摇摆振动体上设置第二反光镜片和第二转动惯量调节配重块。本发明可有效调整摇摆振动体具有的固有频率，使得能与符合曝光设备要求的预设目标振动频率相一致或在预设差值范围内，提高曝光设备的光照效果。

技术领域

本发明涉及机械技术领域，特别是涉及一种摇摆振动装置。

背景技术

目前，在半导体制造的光刻机等曝光设备中，大多采用点光源，在真空状态下，点光源发射的光线经过透镜的多次反射而达到照度均匀分布，但是，经过多次反射必然造成光能的损失，降低了光能的利用率。为此，目前，常用的方式是将反射镜固定在摇摆振动体上，然后将反射镜和摇摆振动体一起安装在真空的、用于通过点光源所发出的光线的光通路内，通过摇摆振动体带动反射镜进行高频振动，实现快速改变反射镜的角度，以此达到反射镜所发射后的光的照度均匀分布的目的。

对于不同的曝光设备，其对内部光通路上所安装的摇摆振动体，具有不同的振动频率(如用户想要的预设的目标振动频率)要求，为了实现低的功率消耗，要求曝光设备上安装的摇摆振动体自身的固有频率，能够尽量与用户所需求的、符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围(例如±1％)内。

但是，对于目前的摇摆振动体，其自身具有的固有频率无法灵活的调整，从而无法与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围(例如±1％)内，满足光刻机等曝光设备的生产要求，提高曝光设备的生产质量和光照效果。

因此，目前迫切需要开发出一种技术，其可以有效地调整摇摆振动体具有的固有频率，从而使得能够与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围内，提高所安装的曝光设备的光照效果。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种摇摆振动装置，其可以有效地调整摇摆振动体具有的固有频率，从而使得能够与符合曝光设备要求的预设的目标振动频率相一致或者在预设的差值范围内，提高所安装的曝光设备的光照效果，有利于广泛地推广应用，具有重大的生产实践意义。

为此，本发明提供了一种摇摆振动装置，包括水平放置的第一摇摆振动体和第二摇摆振动体；

所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置通过第一扭转弹簧与基座固定连接；

所述第二摇摆振动体位于所述第一摇摆振动体的右侧面，所述第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点之间通过水平分布的第二扭转弹簧相连接；

所述第一摇摆振动体上设置有第一反光镜片和第一转动惯量调节配重块；

所述第二摇摆振动体上设置有第二反光镜片和第二转动惯量调节配重块。

其中，所述第一摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点位置以及所述第二摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置之间通过所述第二扭转弹簧相连接。

其中，所述第一扭转弹簧是实心的水平分布的第一法兰轴，所述第二扭转弹簧是实心的水平分布的第二法兰轴；

所述第一法兰轴的左右两端分别与所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置和基座固定连接；

所述第二法兰轴的左右两端分别与所述第二摇摆振动体的右侧面中心线和镜面中心线的交点位置以及所述第一摇摆振动体的左侧面中心线和镜面中心线的交点位置固定连接。