[发明专利]一种铝背场真空蒸镀机构在审
| 申请号： | 201810322089.1 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108411255A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张文;汪昭辉;郭卫保;王坤 | 申请（专利权）人： | 张家港国龙光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模板 蒸镀 硅板 挡板 真空蒸镀 铝背场 掩模板驱动机构 挡板驱动机构 蒸镀子区域 驱动机构 承载 移动 硅板表面 气体透过 均匀性 图形区 蒸发源 匹配 制作 | ||
1.一种铝背场真空蒸镀机构，其特征是：包括蒸发源(1)、硅板(2)、掩模板(3)、蒸镀挡板(4)、硅板驱动机构、掩模板驱动机构、蒸镀挡板驱动机构，所述硅板(2)表面分为若干蒸镀子区域(5)，所述掩模板(3)位于所述硅板(2)下方，掩模板(3)的图形区尺寸与所述蒸镀子区域(5)尺寸相同，所述蒸镀挡板(4)位于所述掩模板(3)下方，能够形成与所述掩模板(3)结构相匹配的蒸镀气体透过区(6)；所述硅板驱动机构设置在硅板(2)上、用于移动及承载硅板(2)，所述掩模板驱动机构设置在掩模板(3)上、用于移动及承载掩模板(3)，所述蒸镀挡板驱动机构设置在蒸镀挡板(4)上、用于移动及承载蒸镀挡板(4)。
2.根据权利要求1所述的铝背场真空蒸镀机构，其特征是：所述蒸镀挡板(4)包括四个可独立驱动的子挡板，所述四个子挡板能够围成供所述蒸镀气体透过的方型。
3.根据权利要求1所述的铝背场真空蒸镀机构，其特征是：所述蒸镀挡板(4)为一个弯折为一圆筒状结构的柔性板材，所述柔性板材能够围成供所述蒸镀气体透过的圆筒状通道。
4.根据权利要求1所述的铝背场真空蒸镀机构，其特征是：所述蒸镀挡板(4)包括六块分离的子挡板，所述六块分离的挡板之间彼此相离，能够形成能供所述蒸镀气体透过的若干过气缝隙。
5.根据权利要求2至4任一项所述的铝背场真空蒸镀机构，其特征是：还包括用于对所述掩模板(3)和待蒸镀的蒸镀子区域(5)进行对位的对位机构。
6.根据权利要求5所述的铝背场真空蒸镀机构，其特征是：所述蒸镀子区域(5)外侧设有第一对位标记，所述掩模板(3)边框区设有第二对位标记，所述对位机构通过所述第一对位标记和第二对位标记对所述掩模板(3)和待蒸镀的蒸镀子区域(5)进行对位。
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