[发明专利]一种石墨烯压力传感器

权利要求书

1.一种石墨烯压力传感器，包括封装外壳(8)，其特征在于：所述封装外壳(8)的内部为中空安装夹层(9)，所述中空安装夹层(9)的内部设置有压力传感装置(10)，所述压力传感装置(10)包括合金钢弹性衬底(1)，所述合金钢弹性衬底(1)的下方设置有信号处理单元(6)，且所述信号处理单元(6)与合金钢弹性衬底(1)之间设置有缓冲部(7)，合金钢弹性衬底(1)的上表面设置有绝缘保护层(2)，所述绝缘保护层(2)的上方设置有压力应变装置(3)，所述压力应变装置(3)与信号处理单元(6)连接；

所述压力应变装置(3)包括导电层(301)和石墨烯薄膜(302)，所述导电层(301)设置在绝缘保护层(2)的上表面，所述石墨烯薄膜(302)设置在导电层(301)的上方，且石墨烯薄膜(302)与导电层(301)之间设置有若干绝缘颗粒(303)。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述信号处理单元(6)包括压力传感器芯片(601)、集成电路芯片(602)和用于固定设置压力传感器芯片(601)、集成电路芯片(602)的安装板(603)，所述安装板(603)设置在合金钢弹性衬底(1)的下端，安装板(603)上设置有凹槽(604)。

3.根据权利要求2所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于所述压力传感器芯片(601)和集成电路芯片(602)均焊接在凹槽(604)内，且压力传感器芯片(601)通过第一金属导线(605)与集成电路芯片(602)连接，压力传感器芯片(601)两端通过两个穿过缓冲部(7)的第二金属导线(606)分别与导电层(301)、石墨烯薄膜(302)连接。

4.根据权利要求3所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述缓冲部(7)包括橡胶缓冲层(701)和两个安装通孔(702)，两个所述安装通孔(702)设置在橡胶缓冲层(701)上，且所述第二金属导线(606)穿过安装通孔(702)。

5.根据权利要求1所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述绝缘保护层(2)的外表面设置有若干玻纤加强条(4)，且相邻两个所述玻纤加强条(4)之间设置有散热通孔(5)。

6.根据权利要求1所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述绝缘颗粒(303)为纳米级或为微米级。

7.根据权利要求1所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述导电层(301)采用的是任一金属导电材料。

8.根据权利要求1所述的一种石墨烯压力传感器，其特征在于：所述绝缘颗粒(303)采用的是二氧化硅颗粒。