[发明专利]一种碱性蚀刻液及其循环使用方法

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液，其特征在于，所述碱性蚀刻液包括氯化铜、有机胺、氧化剂、添加剂以及去离子水；每升碱性蚀刻液中氯化铜占10-150g，有机胺占10-200g，氧化剂1-100g，添加剂占1-100g，其余为去离子水；

所述有机胺选自乙胺、乙醇胺、邻苯二胺、乙二胺、三乙烯四胺中的一种或者几种；

所述氧化剂选自氧气、氯酸盐、双氧水、高锰酸盐中的一种或几种；

所述添加剂选自二硫酸盐、碳酸盐、碳酸氢盐、氨水、硫氰酸盐、硫代硫酸钠中的一种或几种。

2.根据权利要求书1所述的一种碱性蚀刻液其特征在于，所述碱性蚀刻液的工作pH为8-11，工作温度为10℃-110℃；蚀刻pH可采用常规酸碱来调节或采用缓冲溶液来稳定，蚀刻液使用中可采用常规的喷淋。

3.权利要求书1或2所述碱性蚀刻液的循环使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将碱性蚀刻生产线进行蚀刻后所产生的碱性蚀刻废液抽提出来；

(2)利用膜分离技术将碱性蚀刻废液中的铜提取，通过加入沉淀剂和还原剂使溶液中多余的铜离子沉淀出来；所述沉淀剂包括含S^2-或S-的物质，或含巯基(-SH)的物质，如硫化铵，硫氢化铵(NH4HS)，乙二硫醇；还原剂是能够还原溶液中的一价铜或(和)二价铜的物质，如硼氢化钠，水合肼，氢气，甲醛；

(3)通过过滤器过滤掉蚀刻液中的杂质；

(4)调节溶液配比将过滤的废液转换成可再次利用的碱性蚀刻液，循环利用。

4.权利要求书3所述碱性蚀刻液的循环使用方法，其特征在于，所述的膜选自陶瓷膜或有机高分子膜。