[发明专利]微型真空计及其工作方法在审
| 申请号： | 201810324826.1 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108387341A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 张文婷 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 二极管 绝缘 真空计 基底 电阻 电学 连线 底座 串并联方式 串联电阻 底座四周 电性连接 基底固定 加工误差 悬空固定 灵敏度 上侧面 量程 容限 配置 兼容 检测 灵活 制作 | ||
1.一种微型真空计，其特征在于：包括底座(1)、框架(2)、绝缘基底(3)、二极管(4)、电阻(5)、悬臂梁(6)和电学连线(7)，所述框架固定在所述底座四周，所述悬臂梁至少为两个，所述悬臂梁的一端与所述绝缘基底固定连接，所述悬臂梁的另一端固定于所述框架的上侧面上，至少两个所述悬臂梁将所述绝缘基底悬空固定于所述框架上；所述二极管和电阻设于所述绝缘基底上，所述电学连线将所述电阻和二极管电性连接并从所述悬臂梁上引出。
2.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述底座为硅、石英或玻璃衬底。
3.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述框架为绝缘结构。
4.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述二极管为PN结。
5.根据权利要求4所述的微型真空计，其特征在于：所述二极管为多个，多个二极管之间串联或并联连接。
6.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述电阻为多晶硅、金属电阻和加工产生的寄生电阻其中之一，数量为一个或多个，并与所述二极管串联。
7.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述悬臂梁为绝缘梁。
8.根据权利要求7所述的微型真空计，其特征在于：所述悬臂梁为L型。
9.根据权利要求1所述的微型真空计，其特征在于：所述电学连线为多晶硅、金属或多种材料构成，并置于所述悬臂梁中。
10.一种如权利要求1至9中任一项所述的微型真空计的工作方法，其特征在于：若所述二极管工作在恒定偏置电流下，则所述微型真空计通过电学连线测所述二极管两端电压与真空度的关系，获得真空度信息；若所述二极管工作在恒定偏置电压下，则所述微型真空计通过电学连线测所述二极管电流与真空度的关系，获得真空度信息。
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