[发明专利]硬脆材料切割方法及其装置

权利要求书

1.一种硬脆材料切割方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一超快激光光束与一非超快激光光束；

使该超快激光光束与该非超快激光光束具有一时间相关性；

整型该超快激光光束与该非超快激光光束成一垂直线型光束；以及

入射该垂直线型光束至一材料，并于该材料的厚度方向改质该材料以在该材料的一改质区内形成多个缺陷，其中依据该垂直线型光束中的该超快激光光束提升该非超快激光光束对该材料的吸收率，以提升在该改质区内形成该多个缺陷的密度，并能延伸该多个缺陷来产生一裂缝结构。

2.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中所述入射该垂直线型光束至该材料的步骤中，包括以下步骤：

使该垂直线型光束涵盖该材料的厚度方向。

3.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中所述使该超快激光光束与该非超快激光光束具有该时间相关性的步骤中，包括以下步骤：

使该非超快激光光束延迟该超快激光光束于一延迟时间入射。

4.如权利要求3所述的硬脆材料切割方法，其中该延迟时间介于1ps至1ms之间入射。

5.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中所述使该超快激光光束与该非超快激光光束具有该时间相关性的步骤中，包括以下步骤：

使该非超快激光光束与该超快激光光束同时入射。

6.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中所述提供该超快激光光束与该非超快激光光束的步骤中，包括以下步骤：

使该超快激光光束的波长与该非超快激光光束的波长分别对该材料全部穿透或部分穿透。

7.如权利要求6所述的硬脆材料切割方法，其中该超快激光光束的波长与该非超快激光光束的波长分别对该材料部分穿透率介于20％至100％之间。

8.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该材料为玻璃，该超快激光光束的波长介于350nm至2600nm之间；该材料为蓝宝石，该超快激光光束的波长介于250nm至5000nm之间；该材料为硅，该超快激光光束的波长介于1500nm至6500nm之间；该材料为碳化硅，该超快激光光束的波长介于350nm至1100nm之间。

9.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该超快激光光束的脉冲宽度小于等于100ps。

10.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该超快激光光束的能量介于1W至100W之间。

11.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该非超快激光光束为一连续波激光或一长脉冲激光。

12.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该材料为玻璃，该非超快激光光束的波长介于350nm至2600nm之间；该材料为蓝宝石，该非超快激光光束的波长介于250nm至5000nm之间；该材料为硅，该非超快激光光束的波长介于1500nm至6500nm之间；该材料为碳化硅，该非超快激光光束的波长介于350nm至1100nm之间。

13.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该非超快激光光束的脉冲宽度为大于100ps。

14.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中该非超快激光光束的能量介于1W至200W之间。

15.如权利要求1所述的硬脆材料切割方法，其中所述提供该超快激光光束与该非超快激光光束的步骤中，包括以下步骤：

使该超快激光光束与该非超快激光光束彼此共轴。