[发明专利]一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法

权利要求书

1.一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将带有微阵列孔的模板通过真空喷镀一层亲水剂；

采用喷镀或磁控溅射的方法，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜；

通过将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入水中，进行所述模板与所述镍钛合金薄膜之间的分离，将分离后的所述模板安放在水面以下，并使所述镍钛合金薄膜漂浮在水面上，完成所述镍钛合金薄膜和所述模板的分离；

将与所述模板分离后的所述镍钛合金薄膜从水中取出，再进行室温静置干燥后，即可得到镍钛非晶合金微阵列支持膜。

2.根据权利要求1所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，在对所述模板真空喷镀亲水剂之前，将所述模板浸泡在硫酸和过氧化氢混合液中清洗，再用蒸馏水反复浸泡洗去混合液后，干燥所述模板。

3.根据权利要求1所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜时，将镍钛合金丝放置在钨丝篮中，钨丝篮与待镀膜的所述模板之间的距离为60-80mm，并在真空值为1×10^-4～2×10^-4帕时，开始加热钨丝篮至目视镍钛合金丝熔化并完全蒸发。

4.根据权利要求1所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜时，控制真空值小于5×10^-4帕。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，在进行所述模板与所述镍钛合金薄膜分离时，将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入转移池中，所述转移池包括池体、设置在所述池体内的载网架、以及设置在所述池体外部的进水口和出水口，所述池体内设置有载网区和模板区，且所述载网架能在所述载网区和模板区之间进行移动，所述进水口和出水口分别与入水泵和出水泵相连接。

6.根据权利要求5所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，所述入水泵和出水泵的流量控制精度均为0.1ml，流速的控制范围为0～100ml/min。

7.根据权利要求5所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，所述载网架和所述载网均经过辉光放电亲水性处理。

8.根据权利要求5所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，通过所述转移池将所述模板与所述镍钛合金薄膜分离的步骤包括：

通过所述入水泵向所述池体注水，并将所述载网架放入所述池体内的所述载网区内，并使所述载网架位于水面以下后，将多个载网放置在所述载网架上；

将带有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入所述转移池的模板区，并将所述镍钛合金薄膜和所述模板进行分离；

将分离后的所述模板安放在所述转移池的模板区水面以下，并使所述镍钛合金薄膜漂浮在所述转移池的模板区的水面上；

将所述镍钛合金薄膜从所述转移池的模板区移动到所述载网区后，通过打开所述出水泵来降低所述转移池内的水位直至水面低于所述载网架；

将所述载网架、以及连同覆盖了所述镍钛合金薄膜的载网一起从转移池中取出，在对其进行干燥后，将所述载网从所述载网架进行脱离，即可得到所述镍钛非晶合金微阵列支持膜。

9.根据权利要求8所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，在所述池体底部设置有垫高点，所述垫高点可以使所述转移池向载网区倾斜约5度。

10.根据权利要求8所述的一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，其特征在于，在对所述载网架进行干燥时，将所述载网架带有所述载网的一面向上并平放在干燥的滤纸上后，进行室温静置干燥。