[发明专利]一种适用于高精密真空器件的非蒸散型吸气剂材料在审
| 申请号： | 201810327377.6 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108456852A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;高勇;杜鑫 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 非蒸散型吸气剂 薄膜 真空器件 高精密 使用寿命 衬底 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于高精密真空器件的非蒸散型吸气剂材料，其特征在于，包括自下到上依次分布的衬底(3)、非蒸散型吸气剂Ti-Zr-V-Hf薄膜(2)及Pd薄膜(1)。
2.根据权利要求1所述的适用于高精密真空器件的非蒸散型吸气剂材料，其特征在于，所述衬底(3)为不锈钢、无氧铜或者硅片。
3.根据权利要求1所述的适用于高精密真空器件的非蒸散型吸气剂材料，其特征在于，采用磁控溅射法在衬底(3)上依次制备非蒸散型吸气剂Ti-Zr-V-Hf薄膜(2)及Pd薄膜(1)。
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