[发明专利]一种负性光刻胶显影液在审
| 申请号： | 201810329307.4 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108594606A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 深圳达诚清洗剂有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 负性光刻胶 显影液 无机盐 表面活性剂 重量百分比 磷酸三钠 偏硅酸钠 显影效果 硅酸钠 可操作 碳酸钠 显影 配制 | ||
【权利要求书】：
1.一种负性光刻胶显影液，其特征在于：其由以下组分按照重量百分比组成：
2.根据权利要求1所述的一种负性光刻胶显影液，其特征在于：所述的无机盐为：硅酸钠、碳酸钠、偏硅酸钠、磷酸三钠中的一种或者多种。
3.根据权利要求1所述的一种负性光刻胶显影液，其特征在于：所述的表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)。
4.根据权利要求3所述的一种负性光刻胶显影液，其特征在于：所述的脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)为：高碳脂肪醇聚氧乙烯醚。
5.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种负性光刻胶显影液，其特征在于：其由以下组分按照重量百分比组成：
6.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种负性光刻胶显影液，其特征在于：其由以下组分按照重量百分比组成：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳达诚清洗剂有限公司，未经深圳达诚清洗剂有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810329307.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种线路板防焊显影用的环保清洁显影液
- 下一篇：一种光刻胶以及曝光方法
