[发明专利]一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统

权利要求书

1.一种基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：该检测系统包括光源、会聚镜组、针孔、准直镜组、可变光阑、待测样品、聚焦镜组、光电探测器、消光陷阱、数据处理系统；光源发出的光波经过会聚镜组会聚为细光束，再经针孔滤波后，准直镜组将经过针孔的光束变换为准直光束，通过可变光阑控制入射到待测样品表面光斑的大小，入射到待测样品表面的光束经待测样品向半球空间散射，聚焦镜组将散射到半球空间的部分光束能量收集于光电探测器，光电探测器倾斜一定角度放置，消光陷阱用于收集因光电探测器窗口表面产生的镜面反射光束，经过待测样品表面调制进入光电探测器的光能量包含了待测样品表面的粗糙度信息，经数据处理系统获得待测样品的表面粗糙度。

2.根据权利要求1所述的基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：光源包含但不限于激光光源、LED光源、卤素光源。

3.根据权利要求1所述的基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：入射到待测样品表面入射角度可调，聚焦镜组收集待测样品表面散射光的范围最大可达±30度。

4.根据权利要求1所述的基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：待测样品包括光学元件、机械元件的待测样品表面。

5.根据权利要求1所述的基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：光电探测器倾斜一定角度放置，光电探测器窗口引起的镜面反射光通过消光陷阱去除。

6.根据权利要求1所述的基于光学散射原理的表面粗糙度检测系统，其特征在于：该检测系统基于光学散射原理，可对待测样品进行在线、快速、非接触式无损检测。