[发明专利]一种铝合金材料表面物理气相沉积工艺

权利要求书

1.一种铝合金材料表面物理气相沉积工艺，其特征在于，包括有以下工艺步骤，具体的：

a、铝合金产品清洗：

a1、将铝合金产品放置于超声波清洗机的清洗槽内，超声波清洗机的清洗槽内注入有草酸与超纯水所组成的清洗液，启动超声波清洗机对铝合金产品进行超声波清洗，超声波清洗时间为1-5分钟；

a2、待铝合金产品超声波清洗完毕后，将铝合金产品从超声波清洗机的清洗槽内移出，并通过纯净水喷淋冲洗的方式对铝合金产品进行喷淋冲洗，喷淋冲洗时间为2-5分钟；

a3、待铝合金产品纯净水喷淋冲洗完毕后，将铝合金产品放置于纯净水中进行浸泡处理，浸泡时间为3-5分钟；

a4、待铝合金产品经纯净水浸泡处理完毕后，将铝合金产品置于恒温循环干燥箱内进行烘干处理，恒温循环干燥箱的温度为100℃，烘干处理的时间为10-60分钟；

a5、待铝合金产品经恒温循环干燥箱烘干处理后，将铝合金产品移出恒温循环干燥箱，待铝合金产品冷却至室温后通过无尘布蘸取无水乙醇将铝合金产品表面擦拭干净；

b、铝合金产品氩离子清洗：

b1、将擦拭干净后的铝合金产品置于真空炉内，待真空炉内部的真空度到达0.1Pa后，开启真空炉的加热装置，待真空炉的炉内温度到达80℃-120℃ 时，真空炉进入恒温状态，恒温时间为10-50分钟，且恒温结束后真空炉关闭加热装置并停止加热动作；

b2、待真空炉恒温结束并停止加热后，真空炉进行抽真空动作并使得真空炉内部的真空度到达0.008Pa，而后通入氩气100-400SCCM并使得真空炉内部的真空度达到0.1-0.8Pa，此后开启偏压电源并设定200V-500V电压，以使真空炉内部产生辉光放电，进而对铝合金产品进行氩离子轰击以实现氩离子清洗处理，氩离子清洗处理时间为30-50分钟；

c、底层制备：

c1、待铝合金产品进行氩离子清洗完成后，依次关闭偏压电源、氩气充入装置，而后再进行抽真空动作并使得真空炉内部恢复真空度低于0.008Pa的高真空状态；

c2、待真空炉达到高真空状态后，再次启动氩气充入装置并通入100SCCM氩气，以使得真空炉内部的真空度达到0.1Pa,而后依次开启偏压电源、弧靶电源，偏压电源设定250V-300V电压，弧靶电源设定50A电流且弧靶电源的靶材为Cr，在铝合金产品离子轰击3分钟后关闭弧靶电源，此时铝合金产品上沉积Cr金属底层；

d、过渡层制备：

d1、待铝合金产品沉积Cr金属底层后，启动氩气充入装置并往真空炉内部通入200SCCM氩气，以使得真空炉内部的真空度达到0.1-0.8Pa；

d2、将偏压电源的电压调整为150V，而后开启中频电源，中频电源的恒电流设定5-25A且中频电源的靶材为Cr, 在铝合金产品离子轰击5-20分钟后，铝合金产品于底层上沉积Cr金属过渡层；

e、加硬层制备：

e1、依次调整偏压电源的电压以及中频电源的恒电流，偏压电源的电压设定为100V,中频电源的恒电流设定为20-30A；

e2、往真空炉内部通入100SCCM乙炔并使得真空炉内部真空度达到0.3-0.4Pa，在铝合金产品离子轰击30-60分钟后关闭偏压电源、中频电源、乙炔流量控制器、氩气流量控制器，此时铝合金产品于过渡层上沉积CrC加硬层；

f、冷却出炉：

f1、在CrC加硬层沉积完毕后，真空炉再进行抽真空动作并使得真空炉内部恢复真空度低于0.008Pa的高真空状态；

f2、真空炉保持高真空状态5-10分钟，而后放气出炉并将铝合金产品从真空炉取出。

2.根据权利要求1所述的一种铝合金材料表面物理气相沉积工艺，其特征在于：于所述a1步骤中，注入至超声波清洗机的清洗槽内的草酸与超纯水所组成的清洗液的PH值为7-8。

3.根据权利要求1所述的一种铝合金材料表面物理气相沉积工艺，其特征在于：于所述a1步骤中，超声波清洗机的清洗槽内的清洗液的温度为60℃。