[发明专利]一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法

权利要求书

1.一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道；

所述真空泵管路上设有压力传感器，所述真空泵管路上还设有停电泄气装置；

所述真空泵排气管道上设有消音器，所述真空泵排气管道上还设有自动放气阀；

所述真空泵包括真空罗茨泵和机械泵，两者之间通过第三波纹管连接，所述真空泵管路与所述真空罗茨泵连接，所述真空泵排气管道连接在所述机械泵上；

所述真空罗茨泵和所述机械泵上分别设有电机，所述电机、所述蝶阀、所述停电泄气装置、所述自动放气阀和所述压力传感器均与控制单元电连接；

包括以下步骤：

步骤一，采用真空泵一对多的工作方式，将真空泵管路分别接到多个单晶炉上，在炉体伸出的管路上设计可控制的蝶阀，通过程序互锁控制这几个蝶阀不可同时开启；

步骤二，控制打开其中的一个蝶阀，其他处于闭合状态，真空泵开始工作，通过管路抽空单晶炉内空气，检测在达到所需的初步的真空度时，机械泵停止工作，由真空罗茨泵继续抽真空，直至炉体真空度达到小于0.02bar的工艺要求；

步骤三：待达到上述真空度后，真空泵停止工作，检测是否有其他蝶阀打开，如果有，关闭相应管路蝶阀，否的话，则通过压力传感器检测真空泵管路是否为常压，否的话，打开自动放气阀，重新检测，直至达到常压状态；

步骤四：关闭自动放气阀，真空泵开始工作，对应的相应要工作的蝶阀打开，开始工作，检测在规定的时间内真空度能否达到规定要求，可以的话，关闭相应阀门，关闭真空泵，结束，否则，放气至炉内压力到常压，重新回到检测真空泵管路内是否为常压的步骤，直至达到规定要求。