[发明专利]一种超高压压力传感器

说明书

本发明涉及一种超高压压力传感器，包括传感器壳体、导入嘴、第一膜片、压力敏感元件、第二膜片、信号处理电路板、后盖，传感器壳体的顶部设有导入嘴安装槽、中部设有圆台型的通孔、底部设有后盖安装槽，通孔的顶端设有向上突出的第一膜片安装座，第一膜片通过固定件固定安装在第一膜片安装座上，通孔的底端设有向下突出的第二膜片安装座，第二膜片通过固定件固定安装在第二膜片安装座上，压力敏感元件安装在第二膜片的底端中部。本发明的有益效果是：通过设置减压腔，减小第二膜片的弹性形变，使安装在第二膜片底端的压力敏感元件的感应信号随第二膜片的形变而线性变化，进而满足高压测试的需求。

技术领域

本发明涉及压力传感器领域，尤其涉及一种超高压压力传感器。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。

近年来，随着高压加载新技术快速发展，超高压力测量在军工和民用方面都有着重要作用，由于高压测试的需求越来越多、要求也越来越高，超高压力的测试技术也在不断的发展。但制作膜片的材料的弹性形变范围是有限的，若压力超过膜片的弹性形变范围，膜片会发生塑性变形，压力传感器则被损坏；同时压力敏感元件的感应信号随形变的线性变化也是有限度的，超过这一限度压力敏感元件的感应信号将不再是线性变化，从而导致测量不准确。而一些特定的压力测试，由于要求压力的加载面积很小，因此不适合直接增加膜片的横截面积来减小元件的内部应力作用。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种超高压压力传感器，通过设置减压腔，减小第二膜片的弹性形变，使安装在第二膜片底端的压力敏感元件的感应信号随第二膜片的形变而线性变化，进而满足高压测试的需求。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种超高压压力传感器，包括传感器壳体、导入嘴、第一膜片、压力敏感元件、第二膜片、信号处理电路板、后盖，所述传感器壳体的顶部设有导入嘴安装槽、中部设有圆台型的通孔、底部设有后盖安装槽，所述导入嘴安装在导入嘴安装槽中，所述通孔的顶端设有向上突出的第一膜片安装座，所述第一膜片通过固定件固定安装在第一膜片安装座上，所述通孔的底端设有向下突出的第二膜片安装座，所述第二膜片通过固定件固定安装在第二膜片安装座上，所述第一膜片、通孔、第二膜片共同围合成封闭的减压腔，所述减压腔中填充有气体，所述压力敏感元件安装在第二膜片的底端中部，所述信号处理电路板安装在后盖安装槽中且与压力敏感元件电性连接，所述后盖安装在后盖安装槽的槽口处。

其中，所述导入嘴安装槽的槽底处安装有套在固定件外的第一橡胶圈，所述第一橡胶圈的顶端与导入嘴的底端相抵接。

其中，所述后盖安装槽的槽底处安装有套在固定件外的第二橡胶圈，所述第二橡胶圈的底端与后盖的顶端相抵接。

其中，所述导入嘴中心设置的导入孔正对第一膜片的中心。

其中，所述导入嘴的上部外侧套有一圈不锈钢连接环，所述导入嘴的材质为热的不良导体。

其中，所述传感器壳体的材质为热的良导体。

其中，所述固定件为中间具有通孔的螺纹铝盖。

其中，所述减压腔中填充的气体为惰性气体。

其中，所述第一膜片的弹性形变范围大于第二膜片的弹性形变范围。

本发明的有益效果是：通过设置减压腔，减小第二膜片的弹性形变，使安装在第二膜片底端的压力敏感元件的感应信号随第二膜片的形变而线性变化，进而满足高压测试的需求。

附图说明