[发明专利]一种基于复合互连衬底的芯片封装结构及其方法有效

专利信息
申请号: 201810336841.8 申请日: 2018-04-16
公开(公告)号: CN108649041B 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 陈琳;王天宇;何振宇;孙清清;张卫 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 复合 互连 衬底 芯片 封装 结构 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种基于复合互连衬底的芯片封装结构,其特征在于,包括:

基板,其具有上下两个凹槽,顶部凹槽的长度小于底部凹槽的长度;芯片贴合在底部凹槽中;顶部凹槽中注入有塑模材料;

第一引线柱,若干根,分设于基板底部凹槽内侧;

第二引线柱,若干根,分设于芯片四周、与所述第一引线柱相应的位置,第一引线柱与所述第二引线柱一一对应,且两者贴合;

以及光学玻璃,封装在所述基板上。

2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述底部凹槽的长度为5mm~7mm,宽度为1mm~5mm,高度为0.1mm~0.2mm;所述顶部凹槽的长度为2mm~4mm,宽度为2mm~4mm,高度为0.5~1.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的芯片封装结构,其特征在于,所述第一引线柱、所述第二引线柱为10根以上。

4.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,所述第一引线柱、所述第二引线柱的长度为0.5mm~0.7mm,宽度为0.1mm~0.5mm,高度为0.1mm ~0.2mm。

5.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述第一引线柱、所述第二引线柱材料为铜、金或银。

6.一种如权利要求1-5之一所述基于复合互连衬底的芯片封装结构的封装方法,其特征在于,具体步骤为:

制备带有凹槽的基板;凹槽有两个,分设在基板的顶部和底部,顶部凹槽的长度小于底部凹槽的长度;

在基板底部凹槽内侧设置第一引线柱;

准备芯片,将芯片贴合在基板底部凹槽中,在芯片四周设置第二引线柱,第二引线柱与第一引线柱的位置一一对应,且两者贴合;

在基板四周装载基材形成闭合模具,并留有注入通道;

通过注入通道将塑模材料注入到模腔,然后去除模具;

封装光学玻璃,得到复合互连衬底的芯片封装结构。

7.根据权利要求6所述的封装方法,其特征在于,芯片通过粘合剂贴合在基板底部凹槽中,具体步骤为:

将所述基板 上下翻转,将银浆作为粘合剂滴入到所述底部凹槽中,在充满氮气的循环烘箱进行烘烤,使银浆固化。

8.根据权利要求6所述的封装方法,其特征在于,所述芯片为CMOS图像传感器芯片。

9.根据权利要求6所述的封装方法,其特征在于,所述塑模材料为环氧树脂模塑料。

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