[发明专利]压印装置和物品的制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，其进行压印处理，所述压印处理通过使用模具而在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：

数字反射镜设备，其包括多个区段，所述多个区段中的各个区段为一组二维布置的多个反射镜元件，并且所述数字反射镜设备被构造为用由所述多个反射镜元件反射的光来照射所述基板；

测量单元，其被构造为分立地测量从所述多个区段中的各个区段发射的光的光量；以及

控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制所述多个区段中的各个区段中包括的所述多个反射镜元件。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元控制所述多个区段中的各个区段中包括的所述多个反射镜元件，使得当要进行所述压印处理时从所述多个区段中的各个区段发射的光的光量将是目标光量。

3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述控制单元针对所述多个区段中的各个区段控制所述多个反射镜元件的光的非照射时间与照射时间之间的比，以便获得目标光量。

4.根据权利要求3所述的压印装置，其中，所述控制单元基于所述测量结果来指定从所述多个区段发射的光的光量当中的最小光量，并且通过使用所述最小光量作为基准来校准所述多个区段之间的光量。

5.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述控制单元针对所述多个区段中的各个区段控制用光照射所述基板的反射镜元件的数量，以便获得目标光量。

6.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述控制单元基于所述测量结果来指定不能用光照射所述基板的有缺陷的反射镜元件的数量，并且基于所述有缺陷的反射镜元件的数量来针对所述多个区段中的各个区段控制用光照射所述基板的反射镜元件的数量。

7.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

台，其被构造为保持所述基板并移动，

其中，测量单元被布置在所述台上。

8.根据权利要求7所述的压印装置，其中，所述测量单元测量如下各个区域的光量：所述各个区域小于所述基板上的与所述多个区段中的各个区段相对应的区域。

9.根据权利要求7所述的压印装置，其中，所述测量单元在未进行压印处理的时段中测量从所述多个区段中的各个区段发射到所述基板的光的光量。

10.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述数字反射镜设备加热所述处理目标区域，以便减小所述模具的图案部分与所述处理目标区域之间的形状差。

11.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述数字反射镜设备用增加所述基板上的压印材料的粘度的光来照射所述基板。

12.根据权利要求11所述的压印装置，其中，所述数字反射镜设备在所述模具和所述压印材料彼此接触之后，用增加所述基板上的压印材料的粘度的光来照射所述基板。

13.一种物品的制造方法，所述制造方法包括：

形成步骤，通过使用压印装置在基板上形成图案；

处理步骤，处理在所述形成步骤中形成有图案的基板；以及

制造步骤，从处理后的基板制造物品，

其中，所述压印装置进行压印处理，所述压印处理通过使用模具而在基板上的处理目标区域上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：

数字反射镜设备，其包括多个区段，所述多个区段中的各个区段为一组二维布置的多个反射镜元件，并且所述数字反射镜设备被构造为用由所述多个反射镜元件反射的光照射所述基板；

测量单元，其被构造为分立地测量从所述多个区段中的各个区段发射的光的光量；以及

控制单元，其被构造为基于测量单元的测量结果来控制所述多个区段中的各个区段中包括的所述多个反射镜元件。