[发明专利]压电器件、液体喷出头、液体喷出装置

权利要求书

1.一种压电器件，具备：

压力室；

压电元件；

振动板，其被配置在所述压力室与所述压电元件之间，

所述振动板具有单晶硅基材的晶面{110}，

所述振动板具有在俯视观察时与所述压力室重叠的振动区域，

所述压电元件在俯视观察时与所述振动区域重叠，

当在周向上将所述振动区域分为从所述晶面内的晶体取向＜-111＞至＜1-12＞的第一区域、从所述＜1-12＞至＜1-1-1＞的第二区域、从所述＜1-1-1＞至＜-11-2＞的第三区域、从所述＜-11-2＞至所述＜-111＞的第四区域时，如果对所述振动区域的形状和将所述＜-111＞的方向上的直径与所述＜1-12＞的方向上的直径设为共同并使用的假想的正圆形进行比较，则在所述第二区域和所述第四区域中所述振动区域的形状与所述假想的正圆形相比位于内侧，在所述第一区域和所述第三区域中所述振动区域的形状与所述假想的正圆形相比至少一部分位于外侧。

2.如权利要求1所述的压电器件，其中，

在所述第一区域中，在从所述晶体取向＜-111＞起至向＜1-12＞侧59度的取向为止的区域中，所述振动区域位于所述假想的正圆形的外侧，

在所述第三区域中，在从所述晶体取向＜1-1-1＞起至向＜-11-2＞侧59度的取向为止的区域中，所述振动区域位于所述假想的正圆形的外侧。

3.如权利要求1或权利要求2所述的压电器件，其中，

所述振动区域的形状在所述第一区域和所述第三区域中相对于所述振动区域的中心而为点对称，且在所述第二区域和所述第四区域中相对于所述振动区域的中心而为点对称。

4.一种压电器件，具备：

压力室；

压电元件；

振动板，其被配置在所述压力室与所述压电元件之间，

所述振动板具有杨氏模量和泊松比根据晶体取向而不同的单晶硅基材的晶面，

所述振动板具有在俯视观察时与所述压力室重叠的振动区域，

所述压电元件在俯视观察时与所述振动区域重叠，

如果将所述振动区域的预定的取向的直径设为d1，将所述预定的取向的杨氏模量设为Y1且将泊松比设为v1，并将所述振动区域的任意的取向的杨氏模量设为Y且将泊松比设为v，则所述振动区域的任意的取向的直径d具有d＝√{(d1)²×(1-v1)×Y/Y1×(1-v)}的关系。

5.一种液体喷出头，其中，

具备权利要求1至权利要求4中的任一项所述的压电器件，

并且，通过利用所述压电元件而使所述振动板进行振动从而使所述压力室的压力发生变动，进而使被填充于所述压力室内的所述液体从喷嘴喷出。

6.一种液体喷出装置，其中，

具备权利要求1至权利要求4中的任一项所述的压电器件，

并且，通过利用所述压电元件而使所述振动板进行振动从而使所述压力室的压力发生变动，进而使被填充于所述压力室内的所述液体从喷嘴喷出。