[发明专利]可用于地磁场测量的高Q值磁电超材料结构

权利要求书

1.高Q值磁电超材料结构，其特征在于，包括磁致伸缩层、垫片以及压电谐振器；所述压电谐振器为双梁音叉结构；磁致伸缩层和压电谐振器的两端通过垫片固连，使压电谐振器的两个振梁悬空。

2.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，使用环氧树脂胶粘剂或热压键合，将磁致伸缩层和压电谐振器的两端以及垫片固连。

3.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述压电谐振器使用Z切的石英基片、AlN以及ZnO中的任意一种材料制作而成。

4.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述压电谐振器中，音叉振梁具有四个面，并设置有四个电极，其中两个为正电极、另外两个为负电极，正负电极间隔设置；以应力接近为零的两个位置为分界点，将音叉振梁分为三部分，每一个电极沿振梁长度方向同样包括依次相连接的三个部分，音叉振梁的三个部分与电极的三个部分相对应；同时，每个电极的三个部分分别位于振梁上相邻的三个面上。

5.如权利要求4所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，假设音叉振梁的长度为L，则应力接近为零的两个位置分别为0.22L处和0.76L处。

6.如权利要求4所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，各电极两端引出有焊盘。

7.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述磁致伸缩层采用的具有磁致伸缩效应的材料为Terfenol-D、FeGa合金、FeCo合金以及Ni中的任意一种。

8.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述垫片使用石英晶体或者陶瓷制备而成。

9.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述垫片使用高磁导率材料制备而成。

10.如权利要求1所述高Q值磁电超材料结构，其特征在于，所述垫片使用永磁材料制备而成。