[发明专利]高度位置检测单元的评价用治具和评价方法

权利要求书

1.一种高度位置检测单元的评价用治具，其是激光加工装置的高度位置检测单元的评价用治具，该激光加工装置具有：

卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；

激光光线照射单元，其将对于被加工物具有透过性的波长的加工用激光光线照射至该卡盘工作台所保持的被加工物，该激光光线照射单元具有激光振荡器和会聚加工用激光光线的聚光器；

聚光点位置调整单元，其使该加工用激光光线的聚光点位置移位；

所述高度位置检测单元，其将检测用激光光线通过该聚光器而照射至该卡盘工作台所保持的被加工物，对该被加工物的上表面高度位置进行检测；以及

控制单元，其根据来自该高度位置检测单元的检测信号对该聚光点位置调整单元进行控制，

其中，该高度位置检测单元的评价用治具具有：

被照射面，其被照射该检测用激光光线；

致动器，其使该被照射面在与该被照射面垂直的方向上移动；

基台部，其对该致动器进行支承并载置于该保持面上；以及

控制部，其对该致动器的移动进行控制，

其中，所述评价用治具位于所述卡盘工作台的所述保持面上。

2.根据权利要求1所述的高度位置检测单元的评价用治具，其中，

该致动器由压电致动器或音圈电动机构成。

3.根据权利要求1所述的高度位置检测单元的评价用治具，其中，所述评价用治具还包括：

被照射部件，其中，所述被照射面被包括在所述被照射部件上；以及

筒部，所述筒部位于所述基台部上，并且被设置成保持所述被照射部件，所述被照射部件能够在所述筒部中移动。

4.根据权利要求3所述的高度位置检测单元的评价用治具，其中，所述筒部包括形成为圆筒状的圆筒部。

5.一种激光加工装置的高度位置检测单元的评价方法，其中，该评价方法具有如下的步骤：

将评价用治具载置于该激光加工装置的卡盘工作台的保持面上，所述评价用治具包括：被照射面，其被照射检测用激光光线；致动器，其使该被照射面在与该被照射面垂直的方向上移动；基台部，其对该致动器进行支承并载置于该保持面上；以及控制部，其对该致动器的移动进行控制；

设定移动程序，该移动程序对该评价用治具的该致动器进行控制而使该被照射面按照期望的振幅进行移动；

对载置于该保持面的该评价用治具的该被照射面照射该激光加工装置的检测用激光光线，利用该激光加工装置的高度位置检测单元对通过该移动程序而按照期望的振幅进行移动的该被照射面的高度位置的变动进行检测；

对通过所述高度位置检测单元检测出的该高度位置的变动与该期望的振幅进行比较，以及

对该高度位置检测单元是否能够检测出该被照射面的高度位置进行判定。

6.根据权利要求5所述的评价方法，其中，在沿Z轴方向移动所述被照射面且不沿X轴方向移动所述被照射面的同时，执行所述照射以及对高度位置的变化的所述检测。