[发明专利]一种温度补偿声表面波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810341933.5 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108539006A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王国浩 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/04 | 分类号： | H01L41/04;H01L41/083;H01L41/22;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 常玉明 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度补偿 声表面波谐振器 温度补偿材料 压电材料基板 金属叉 制备 声表面波滤波器 频率温度系数 补偿材料 良率 压电 | ||
1.一种声表面波滤波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在压电材料基板上制备第一温度补偿材料层；
图形化所述第一温度补偿材料层，形成叉指槽；
在所述第一温度补偿材料层上生长金属层，平坦化所述金属层，形成金属叉指结构；
生长第二温度补偿层，所述第二温度补偿层覆盖所述第一温度补偿材料层和所述金属叉指结构。
2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：还包括图形化所述第二温度补偿层，形成电极开口的步骤。
3.根据权利要求1或2所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：还包括平坦化所述第二温度补偿层的步骤。
4.根据权利要求1所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：所述第一温度补偿材料层或者所述第二温度补偿材料层的材质包括二氧化硅、氮氧化硅或其组合物。
5.根据权利要求1所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：所述压电材料基板的材质包括铌酸锂、钽酸锂、氮化铝或氧化锌。
6.根据权利要求1所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：所述第一温度补偿材料层或者所述第二温度补偿材料层的制备工艺包括热氧化或者化学气相沉积。
7.根据权利要求1所述的声表面波滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属层的材质包括铝、钛、铜、铬、银等或者它们的组合。
8.一种声表面波滤波器，根据权利要求1-7任一项所述制备方法所制备。
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