[发明专利]一种柔性器件的制备方法

权利要求书

1.一种柔性器件的制备方法，其特征是：包括如下步骤：

(1)在刚性衬底表面设置可溶解于溶剂的牺牲层，在牺牲层表面制备器件；然后，利用溶剂溶解牺牲层，使器件与刚性衬底分离；

(2)将器件转移至柔性衬底表面进行层压结合，得到柔性器件。

2.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中，牺牲层与器件之间设置保护层；

作为进一步优选，所述保护层与器件之间设置缓冲层。

3.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中，溶剂包括丙酮、氯仿、二氯甲烷、苯酚、苯甲醚等中的一种或者几种。

4.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中，将器件转移至柔性衬底表面的过程中，采用支撑层支撑该器件；

作为优选，所述的支撑层是黏贴在器件顶部的水溶性胶带。

5.如权利要求4所述的柔性器件的制备方法，其特征是：在所述步骤(1)中，在牺牲层表面制备器件后，在器件顶部黏贴该水溶性胶带，器件与刚性衬底分离后，以该水溶性胶带为支撑将器件转移至柔性衬底表面，使器件底部与柔性衬底表面进行层压结合；

作为优选，器件底部与柔性衬底表面进行层压结合之后，将器件浸入水中除去水溶性胶带。

6.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中，器件与柔性衬底进行层压结合之前，对柔性衬底进行表明处理；

所述表面处理方法包括等离子体处理、臭氧表面辐射、表面活性剂处理和接枝共聚处理中的一种或几种。

7.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中，器件与柔性衬底进行层压结合之前，对器件进行表明处理；

所述表面处理方法包括等离子体处理、臭氧表面辐射、表面活性剂处理和接枝共聚处理中的一种或几种。

8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述刚性衬底材料包括Si片、玻璃、Cu片、ITO中的一种或几种；

作为优选，所述柔性衬底材料包括聚二甲基硅氧烷、聚氨基甲酸酯、Ecoflex中的一种或者几种。

9.如权利要求1至7中任一权利要求所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述牺牲层材料包括光刻胶；

作为优选，所述保护层材料是聚酰亚胺；

作为优选，所述缓冲层材料包括Cr或者Ti。

10.如权利要求1至7中任一权利要求所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述器件包括电极、阻变存储器、导线。