[发明专利]抛光衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种抛光衬底的装置，包括：

具有抛光表面的抛光台；

顶圈，其构造成通过衬底保持表面保持衬底的背面并通过卡圈保持衬底的外周边，且构造成将所述衬底压抵所述抛光表面；

可垂直移动机构，其构造成沿垂直方向移动所述顶圈；以及

推动器，其构造成将所述衬底转移至所述顶圈或从顶圈转移；

其中，所述推动器能够在从所述顶圈接收所述衬底前，将所述卡圈的底表面向上推动至高于所述衬底保持表面的位置。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述顶圈具有用于被供应加压流体的卡圈腔，所述卡圈腔构造成当所述卡圈腔供应有所述加压流体时将所述卡圈压抵所述抛光表面；且

其中，所述卡圈腔能够连接至真空源。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述推动器包括用于在所述衬底保持表面与所述衬底之间喷射加压流体的喷嘴，并且所述衬底通过从所述喷嘴喷射出的所述加压流体从所述衬底保持表面移除。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述顶圈包括构造成形成被供应加压流体的多个压力腔的至少一个弹性膜以及用于保持所述膜的顶圈本体，所述膜构造成当所述多个压力腔供应有所述加压流体时在流体压力下将所述衬底压抵所述抛光表面；且

其中，当所述衬底从构成所述衬底保持表面的所述膜移除时，所述衬底在所有所述多个压力腔未加压的状态下移除。