[发明专利]采用带驱动的轴向移位设备

说明书

采用带驱动的轴向移位设备包括引导件、由引导件引导的长形滑动件和使滑动件移位的带驱动件；带驱动件包括与滑动件平行配置的开放带、用于开放带的驱动带轮和与开放带平行配置的张力杆；张力杆在位于保持开放带的各个端部的两个带保持件之间的中间位置处与长形滑动件连接。

相关申请的引用

本申请要求2017年4月24日提交的日本申请No.2017-085244的优先权，通过引用将其公开内容全部明确并入本文。

技术领域

本发明涉及采用带驱动的轴向移位设备。

背景技术

使用同步带的传统轴向移位设备的已知示例包括闭合带型和开放带型。这两种类型均是往复式移位设备，其设置有线性引导件、被沿着引导件引导的滑动件和使滑动件移位的驱动机构，并且这两种类型均包括使用同步带作为传递件的带驱动机构。

前一种闭合带型轴向移位设备广泛地用于各种测量装置，然而由于使用闭合带作为传递件，所以驱动侧和从动侧配置有彼此分离的两个带轮，由此使设备结构复杂化。

另一方面，如日本特开No.2016-90052号公报(图14)所示，后一种开放带型轴向移位设备具有沿线性引导件配置的同步带，带的两端部(开放端)固定于引导件的各端。此外，沿着引导件线性移动的滑动件包括与同步带的齿面接合的驱动带轮。驱动带轮配置在同步带和引导件之间，因此同步带的齿面与驱动带轮的外周面彼此接合。此外，为了增大同步带相对于驱动带轮的卷绕角度，滑动件设置有一对辅助带轮并限定同步带的移动方向。通过切换驱动带轮的转动方向，这两种轴向移位设备还能够选择使滑动件前进还是后退。

发明人已经开发了日本特开No.2016-90052(图14)中的开放带型轴向移位设备，用于适用于坐标测量装置、图像测量装置和形状测量装置的轴向移位设备。

图11示意性地示出了开放带型轴向移位设备用作使具有触针头的测量头沿上下方向移位的Z轴移位设备的构造。在本说明书中，将Z轴移位设备中的被沿上下方向引导的长形滑动件特别称作“主轴”，在图11中测量头设置于的主轴2的底端。

在图11的示例中，测量装置的Y轴移位设备由设置于Y梁3的Y引导件3A(导轨和线性轴承组件)以及被Y引导件3A沿Y轴方向引导并支撑的Y滑动件4构成。Z轴移位设备1搭载于Y滑动件4。Z轴移位设备1包括：Z引导件5，其设置于Y滑动件4；主轴2，其被Z引导件5沿Z轴方向引导；和带驱动件6，其设置于Y滑动件4并使主轴2沿上下方向移位。主轴2在上下方向上的尺寸比包括在Z引导件5中的引导机构的上下方向上的尺寸长。带驱动件6包括：开放带7，其沿着主轴2的移位方向配置；驱动带轮8，其向开放带7传递驱动力；和辅助带轮8A，其增大开放带7相对于驱动带轮8的卷绕角度，开放带7的两端部分别由主轴2保持。

另外，开放带7的两开放端部分别由分离地设置在主轴2的Z轴方向上的两个位置处的带保持件2A和2B保持。此外，开放带7挂在带驱动件6的驱动带轮8上。带保持件2A和2B之间的间隔至少大于主轴2的移位距离。

在如此构成的Z轴移位设备1中，当开放带7通过驱动带轮8的转动驱动力而被沿上下方向送出时，主轴2会根据转动方向而上下移动。

开放带类型使设备简化。开放带型Z轴方向移位设备的具体情况可以参照由本申请人在先申请的日本申请No.2016-222755的说明书中记载的Z轴方向移位设备的构造。

然而，发明人不满意于仅将图11所述的构造应用于测量装置的轴向移位设备，因此进一步考虑改善测量装置的测量精度。

首先，在图11的构造中，开放带7利用所施加的张力固定于主轴2，以防止跳齿。这称作初始张力。