[发明专利]一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810350863.X | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108624898B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李朝升;方涛;黄辉庭;祝梅;邹志刚 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C25B1/04 | 分类号： | C25B1/04;C25B11/06 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 无机 蒸汽 反应 法制 金属 氮化物 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用无机蒸汽反应法制备金属氧氮化物薄膜的方法，其特征在于，包括：
（1）按照10%-90%金属碳酸盐与90%-10%金属卤素盐的摩尔比例，分别研磨，金属碳酸盐与金属卤素盐包括CaCO3/CaCl2、SrCO3/SrCl2和BaCO3/BaCl2，金属碳酸盐与金属卤素盐的金属指Ca、Sr或 Ba、La或Pr；得到Ca熔盐、Sr熔盐以及Ba熔盐；
（2）将步骤（1）的熔盐取0.1g～0.5g置于瓷舟底部，将Ta、Ti或Nb金属薄膜置于瓷舟顶部；将金属薄膜衬底置于熔盐的上风向，使得高温下气化的熔盐蒸汽挥发到金属薄膜上与之反应，原位制备金属氧氮化物薄膜；
（3）将步骤（2）放置好前驱体的瓷舟置于氨气气氛中800℃～900℃煅烧1小时或以上；
（4）将步骤（3）中得到的金属氧氮化物薄膜用清水清洗，干燥；
所述步骤(1)中的金属碳酸盐选自碳酸钙、碳酸锶、碳酸钡、碳酸镧和碳酸镨；金属卤素盐选自氯化钙、氯化锶、氯化钡、氯化镧和氯化镨；金属薄膜衬底选自金属钽薄膜、金属铌薄膜和金属钛薄膜。
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