[发明专利]一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜及其封装工艺

权利要求书

1.一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，包括基板与水氧阻隔膜，所述基板的两侧分别与所述水氧阻隔膜、OLED柔性面板连接，所述水氧阻隔膜背离于所述基板层的一侧设有一层厚度为100-500nm的纳米结构层，所述水氧阻隔膜为由阻隔层与吸收层通过湿法镀膜依次交替制备的复合薄膜层，所述复合薄膜层与所述基板、所述纳米结构层连接的一侧均为所述阻隔层，且构成所述复合薄膜层的相邻两层均为一层所述阻隔层、一层所述吸收层。

2.如权利要求1所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜的封装方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：在基板上通过湿法镀膜法制备水氧阻隔膜，所述水氧阻隔膜为由阻隔层与吸收层交替设置的复合薄膜层，所述复合薄膜层的最顶层与最底层均为所述阻隔层；

步骤二：在所述复合薄膜层之上通过原子层沉积法、化学气相沉积法、真空蒸镀法、干法镀膜法中任一个方法制备纳米结构层。

3.如权利要求2所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述复合薄膜层的厚度在0.6微米-1.2微米之间，所述基板厚度在0.1微米-0.2微米之间。

4.如权利要求3所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述基板背离于所述复合薄膜层的一侧设有与所述OLED柔性面板贴合的防静电层。

5.如权利要求4所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述防静电层为SMC复合材料制成。

6.如权利要求2所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述阻隔层与所述吸收层均为无机薄膜。

7.如权利要求6所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述阻隔层为含有PA、PET、PEN、PI中任意一种或多种元素组成的阻隔薄膜。

8.如权利要求6所述的一种用于OLED柔性面板封装的水氧阻隔膜，其特征在于，所述吸收层为含有In、Zn、Ga、Sn、Cd中任意一种或多种元素组成的非晶结构薄膜。