[发明专利]一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置

权利要求书

1.一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，包括回收真空泵(1)和光纤拉丝冷却管(2)，其特征在于：

所述光纤拉丝冷却管(2)上固定安装有氦气供入口(201)；所述光纤拉丝冷却管(2)两端分别固定安装有氮气馈入口(202)；所述氮气馈入口(202)与氮气气封装置(7)的出口固定连接；所述光纤拉丝冷却管(2)的氦气回收口通过气体管路与电磁阀(3)固定连接；

所述电磁阀(3)另一端通过气体管路与氦气浓度检测仪(4)固定连接；所述氦气浓度检测仪(4)通过气体管路与质量流量控制计MFC(5)固定连接；所述质量流量控制计MFC(5)与回收真空泵(1)的入口固定连接；所述回收真空泵(1)的出口与回收密封容器(6)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述回收真空泵(1)采用无油真空泵；所述无油真空泵的回收负压最低达到100mbar；所述无油真空泵的出口压力最高达到8bar。

3.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述电磁阀(3)采用两通电磁阀。

4.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述质量流量控制计MFC(5)采用质量流量控制器。

5.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述氦气浓度检测仪(4)采用高精度热导式传感芯片；所述氦气浓度检测仪(4)的浓度检测精度为0.1％。

6.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述氦气浓度检测仪(4)上固定安装有温度补偿；所述温度补偿的温度范围为0～60℃。

7.根据权利要求1所述的一种光纤拉丝冷却管氦气回收装置，其特征在于，所述回收真空泵(1)、电磁阀(3)、氦气浓度检测仪(4)、质量流量控制计MFC(5)和氮气气封装置(7)均与可编程逻辑控制器PLC电性连接。