[发明专利]一种氦气在线回收提纯设备在审
| 申请号： | 201810355398.9 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108328588A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张玉学;林蕾蕾;李德强 | 申请（专利权）人： | 合肥硕朗自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氦气 提纯 浓度检测仪 过滤器 回收装置 膜分离器 提纯设备 提纯装置 在线回收 换热器 真空泵 回收 气罐 二级膜分离器 质量流量计 氦混合气 节能环保 路径返回 设备使用 再次使用 增压 除尘 除水 除杂 达标 检测 保证 | ||
1.一种氦气在线回收提纯设备，其特征在于：包括回收装置(1)和提纯装置(2)；
所述回收装置(1)包括回收气罐(101)和真空泵(102)；所述回收气罐(101)的入口与用氦设备(3)的出口固定连接；所述用氦设备(3)的入口通过气体管路与补氦装置(5)固定连接；所述用氦设备(3)的入口处的气体管路周侧面固定安装有质量流量计MFC(4)；所述回收气罐(101)的出口与真空泵(102)固定连接；所述真空泵(102)与提纯装置(2)的换热器(201)的入口固定连接；
所述提纯装置(2)包括换热器(201)、过滤器(202)、一级膜分离器(203)、二级膜分离器(204)和氦气浓度检测仪(205)；所述换热器(201)的出口与过滤器(202)的入口固定连接；所述过滤器(202)的出口与一级膜分离器(203)的入口固定连接；所述一级膜分离器(203)的出口分别与二级膜分离器(204)的入口、回收气罐(101)的入口和用氦设备(3)的入口固定连接；
所述一级膜分离器(203)的渗透气管路周侧面固定安装有一个氦气浓度检测仪(205)；所述二级膜分离器(204)通过渗透气体管路与回收气罐(101)的入口固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种氦气在线回收提纯设备，其特征在于，所述回收气罐(101)内部固定安装有除尘过滤器和气体单向阀。
3.根据权利要求1所述的一种氦气在线回收提纯设备，其特征在于，所述过滤器(202)的过滤精度为0.01微米。
4.根据权利要求1所述的一种氦气在线回收提纯设备，其特征在于，所述一级膜分离器(203)和二级膜分离器(204)采用非对称中空纤维膜。
5.根据权利要求1所述的一种氦气在线回收提纯设备，其特征在于，所述真空泵(102)采用无油真空泵。
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