[发明专利]一种改善多晶硅铸锭晶花的氮化硅免喷涂涂层及其制作方法在审
申请号: | 201810356338.9 | 申请日: | 2018-04-19 |
公开(公告)号: | CN108560046A | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 张福军;杨艳红;孔令奇;邵雨月 | 申请(专利权)人: | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氮化硅 多晶硅铸锭 有机粘结剂 喷涂涂层 气相二氧化硅 氮化硅喷涂 多晶硅生产 去离子水 制作 | ||
1. 一种改善多晶硅铸锭晶花的氮化硅免喷涂涂层,其特征在于:包含以下成分:30%-60%(重量)的氮化硅,所述氮化硅的α相含量为10%-50%(数量);0.1%-5%(重量)的气相二氧化硅; 0.1%-10%(重量)有机粘结剂,所述有机粘结剂为PVA,PVP或PAM中的一种或其任意组合;30%-50%(重量)的去离子水。
2.根据权利要求1所述的一种改善多晶硅铸锭晶花的氮化硅免喷涂涂层的制作方法,其特征在于:先将气相二氧化硅加入到去离子水中,进行高速搅拌,搅拌RPM=500-3000,然后加入氮化硅搅拌,最后加入粘结剂。
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