[发明专利]一种电容式传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810357298.X | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108645896A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 周蕤;吴康;李君;尼克·德·罗伊;周国富 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司;深圳市国华光电研究院 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明;洪铭福 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热电极 电容式传感器 正负电极 上基板 制备 功能性材料层 下基板 基板 感知 | ||
1.一种电容式传感器，其特征在于，包括下基板、加热电极、上基板和至少一个正负电极对，所述加热电极设置在下基板的上方，所述上基板设置在加热电极的上方，所述正负电极对设置在上基板的上方，所述正负电极对覆有功能性材料层。
2.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括至少两个正负电极对，至少一个正负电极对覆有功能性材料层，至少一个正负电极对未覆有功能性材料层。
3.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述加热电极上设置有金属保护层，所述上基板设置在金属保护层的上方。
4.根据权利要求1至3任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述功能性材料层还覆有保护绝缘层。
5.根据权利要求1至3任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述正负电极对为指状交叉电极对。
6.根据权利要求1至3任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述功能性材料层为对湿度敏感的功能性材料层和/或对氨气敏感的功能性材料层和/或对二氧化氮敏感的功能性材料层。
7.根据权利要求1至3任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述下基板和/或下基板为柔性基板。
8.根据权利要求1至3任一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述功能性材料层的厚度为300nm。
9.一种电容式传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
对下基板、上基板进行清洗并吹干；
在所述上基板的下方制备加热电极；
在所述上基板的上方制备至少一个正负电极对；
在所述正负电极对上覆盖功能性材料层；
在所述加热电极的下方安装所述下基板，完成所述电容式传感器的制备。
10.根据权利要求9所述的电容式传感器的制备方法，其特征在于，还包括步骤：
在所述功能性材料层上覆盖保护绝缘层。
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