[发明专利]一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810357716.5 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108588658A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴木营;何林;周晓海;许文杰 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/08;H01B5/14 |
| 代理公司： | 北京汇彩知识产权代理有限公司 11563 | 代理人： | 彭逊 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性透明导电薄膜 多层结构 制备 磁控溅射沉积 导电薄膜 上下两层 透明柔性 衬底 | ||
1.一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜，通过磁控溅射沉积法制备得到，所述导电薄膜包括上下两层CaSnO3层、CaSnO3层中间夹着Ag层以及透明柔性衬底；所述CaSnO3层的厚度为20nm～50nm，所述Ag层的厚度为7nm～13nm，所述透明柔性衬底可以为聚碳酸酯衬底、聚对苯二甲酸类衬底、聚萘二甲酸乙二醇酯衬底中任意一种。
2.一种CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：
(1)将所述CaSnO3靶材和Ag靶材装入磁控溅射腔体内，靶材与衬底的距离优选为50mm～80mm；
(2)先后用去离子水超声清洗透明柔性衬底，并用高纯氮气吹干，放入磁控溅射腔体中；
(3)将磁控溅射系统的本底真空度抽至5.0×10-3Pa以下，使用氩气作为溅射气体溅射CaSnO3层，溅射功率为30～100W，进行沉积得到CaSnO3层；
(4)步骤3完成后，利用氩气作为溅射气体开始溅射Ag层。溅射功率10～80W，沉积得到Ag层；
(5)重复步骤3，在Ag层表面沉积一层CaSnO3层。
3.根据权利要求2所述的CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜的制备方法，其中CaSnO3靶材的纯度为98％以上，Ag靶材纯度为99％以上。
4.根据权利要求2所述的CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜的制备方法，其中所述步骤3中Ar的纯度均在99.99％以上，溅射总气压0.3～15Pa。
5.根据权利要求2所述的CaSnO3/Ag/CaSnO3多层结构柔性透明导电薄膜的制备方法，其中所述步骤4中溅射气压为0.3～15Pa。
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