[发明专利]硅片转移用组合机械手

权利要求书

1.一种硅片转移用组合机械手，其特征在于：包括第一机械手、第二机械手及连接座(3)；

所述第一机械手包括第一悬臂(1)及固定在第一悬臂(1)上的第一承载板(1-1)，所述第一承载板(1-1)的外侧面固定有第一吸盘组(1-2)，所述第一悬臂(1)设置在连接座(3)上；

所述第二机械手包括第二悬臂(2)及固定在第二悬臂(2)上的第二承载板(2-1)，所述第二承载板(2-1)的外侧面固定有第二吸盘组(2-2)，所述第二悬臂(2)转动设置在第一悬臂(1)上，所述第一悬臂(1)上固定有用于驱动第二悬臂(2)转动的第一电机(1-4)；

所述第一吸盘组(1-2)及第二吸盘组(2-2)均包括沿第一承载板(1-1)的长度方向等间隔分布的若干用于吸附硅片(5)的吸盘(4)，所述第一吸盘组(1-2)及第二吸盘组(2-2)中相邻两个吸盘(4)的间距均为D，所述第一吸盘组(1-2)中的硅片(5)与第二吸盘组(2-2)中的硅片(5)相互错开排列，所错开的间距为d，其中，D＝2d；

当第一电机(1-4)带动第二悬臂(2)转动至第二吸盘组(2-2)与第一吸盘组(1-2)齐平时，第一吸盘组(1-2)中吸盘(4)所吸附的硅片(5)与第二吸盘组(2-2)中吸盘(4)所吸附的硅片(5)构成一个沿第一承载板(1-1)长度方向等间隔分布的硅片阵列(6)，硅片阵列(6)中相邻两个硅片(5)之间的间距均为d。

2.根据权利要求1所述的硅片转移用组合机械手，其特征在于：所述第一悬臂(1)转动设置在连接座(3)上，所述连接座(3)上固定有用于驱动第一悬臂(1)转动的第二电机(3-1)。

3.根据权利要求1所述的硅片转移用组合机械手，其特征在于：所述吸盘(4)的背面具有气流槽(4-1)，所述吸盘(4)的正面具有与气流槽(4-1)连通的气孔(4-2)，吸盘(4)的侧面具有与气流槽(4-1)连通的接口(4-3)，所述气流槽(4-1)的槽口处封堵有槽盖(4-4)。

4.根据权利要求1所述的硅片转移用组合机械手，其特征在于：所述第一承载板(1-1)通过第一吊杆(1-3)与第一悬臂(1)固定连接，所述第二承载板(2-1)通过第二吊杆(2-3)与第二悬臂(2)固定连接，所述第二吊杆(2-3)及第一悬臂(1)分别位于第二悬臂(2)的两端。