[发明专利]用于检测面板斑纹的光学检测系统及光学检测方法在审
申请号: | 201810360462.2 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN110243829A | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 邹嘉骏;叶丁源;林宥丞 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G06T7/00 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 王立民;张应 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 斑纹 摄影机 光学检测系统 检测区域 面板影像 辅助灯 白光 处理器 瑕疵 处理器连接 白光光源 光学检测 检测 拍摄 | ||
本发明提供一种面板斑纹的光学检测系统,用以检测待测面板的斑纹瑕疵(Mura),该光学检测系统包括一白光辅助灯、一摄影机、以及一处理器。该白光辅助灯设置于检测区域的一侧。该白光辅助灯提供一白光光源至该待测面板上。该摄影机设置于该检测区域的一侧,用以拍摄该检测区域上的该待测面板,以获得红色、绿色或蓝色成分的面板影像。该处理器连接至该摄影机。该处理器借助该摄影机获取该待测面板的多个该面板影像,并依据多个该面板影像获得该待测面板的斑纹瑕疵(Mura)。
技术领域
本发明有关于一种光学检测系统及方法,尤指一种用以检测面板斑纹瑕疵的光学检测系统及光学检测方法。
背景技术
自动光学检查是工业制造中常见的代表性手法,利用光学仪器取得成品的表面状态,再以计算机图像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵,因为是非接触式检查,所以可在中间工程检查半成品。
关于面板的检测,主要的检查项目有点缺陷、线缺陷、斑纹(mura)缺陷(例如色斑纹、亮度斑纹等)等,其中斑纹检测一般为显示器产品分级的主要依据,直接影响到产品的售价。
斑纹缺陷的形成,主要成因在于曝光过程上的缺失。由于目前液晶显示器的面板尺寸越做越大,要完成整个面板的制作需要搭配接缝式曝光方法,将一片面板分割成数等分,再将分割完后的部份面板挤进一片光罩里面,利用接缝曝光方式来形成完整的面板。在接缝式曝光的交接处,由于机台移动精度的限制,闸极(Gate)金属与源/汲极(Source/Drain)金属发生堆栈误差,因此造成不同曝光区域中的像元其薄膜晶体管寄生电容不同,因而产生不同的耦合(Coupling)效应,当在对这面板所有像元写入相同电压时,期望能看到的是一个相同灰阶的均匀画面,但是由于各个曝光区的电容耦合效应不同,导致每个曝光区域灰阶不同,因而形成亮度不均的情况。
现阶段在制造过程上斑纹缺陷大多仍依赖作业员利用目视的方式进行检测,然而不管是通过人工检测或是机器视觉检测,斑纹缺陷依据现有技术都难以于面板中被辨识出来。
发明内容
本发明的目的,在于提供一种光学检测系统,可以通过机器视觉的方式有效的检测出面板上的斑纹缺陷,并据此对面板进行分类。
为达到上述目的,本发明提供一种面板斑纹的光学检测系统,用以检测待测面板的斑纹瑕疵,该光学检测系统包括一白光辅助灯、一摄影机、以及一处理器。该白光辅助灯设置于检测区域的一侧。该白光辅助灯提供一白光光源至该待测面板上。该摄影机设置于该检测区域的一侧,用以拍摄该检测区域上的该待测面板,以获得红色、绿色或蓝色成分的面板影像。该处理器连接至该摄影机。该处理器借助该摄影机获取该待测面板的多个该面板影像,并依据多个该面板影像获得该待测面板的斑纹瑕疵。
本发明的另一目的,在于提供一种面板斑纹的光学检测方法,包括:提供一白光光源,设置于检测区域一侧,以照射至待测面板上;提供一摄影机,设置于该检测区域一侧,用以拍摄该待测面板,以获得红色、绿色或蓝色成分的面板影像;通过该摄影机获取该待测面板的多个该面板影像;以及依据多个该面板影像获得该待测面板的斑纹瑕疵。
本发明可有效的提升斑纹瑕疵(Mura)的检测率,通过将面板解析为不同个面板影像可以有效解析出在斑纹瑕疵(Mura)于不同偏振光下的显影,以针对斑纹瑕疵(Mura)对应不同属性进行量化,并依此作为分类的依据。
本发明亦可以用于检测面板或对象内侧的残留应力,借助多个面板影像对面板或对象的残留应力进行定量化分析。
附图说明
图1,本发明光学检测系统的外观示意图。
图2,本发明光学检测系统的方块示意图。
图3,偏振角度与色光影像的关系示意图。
图4,定量化分析的影像示意图。
图5,本发明另一实施态样的外观示意图。
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