[发明专利]一种电化学测试用薄膜样品及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810361705.4 申请日: 2018-04-20
公开(公告)号: CN108333234A 公开(公告)日: 2018-07-27
发明(设计)人: 李继文;付振华;魏世忠;赵清;易旭阳;房芳;徐流杰;潘昆明;张国赏;单康宁 申请(专利权)人: 河南科技大学
主分类号: G01N27/26 分类号: G01N27/26;G01N1/28
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 张兵兵
地址: 471003 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 电化学测试 薄膜样品 密封部 待测样品 衬底层 金属薄膜层 导电电极 制备 金属薄膜材料 电化学性能 绝缘密封层 绝缘密封性 测试区域 导电连接 连接部位 良好接触 有效测试 工作部 灵敏度 电极 保证 测试 覆盖
【权利要求书】:

1.一种电化学测试用薄膜样品,其特征在于,包括衬底层以及设置在衬底层上的金属薄膜层,金属薄膜层包括工作部和密封部;所述密封部远离衬底层的一侧表面上导电连接有导电电极,所述密封部上设置有用来对导电电极与密封部的连接部位进行覆盖的绝缘密封层。

2.根据权利要求1所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:所述衬底层为玻璃或聚酰亚胺。

3.根据权利要求1所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:所述衬底层、金属薄膜层的厚度比为0.4~2:1。

4.根据权利要求1所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:所述金属薄膜层为金属或合金,所述金属为钨、钼、铜、钛、铝中一种或几种;所述合金为钼钽合金、钼铌合金、锡银铜合金中的一种。

5.根据权利要求1所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:所述绝缘密封层为硅橡胶。

6.根据权利要求1所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:导电电极为铜或银。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的电化学测试用薄膜样品,其特征在于:所述密封部和绝缘密封层之间设置有银浆覆盖部,所述导电电极的一端埋设在银浆覆盖部内。

8.一种电化学测试用薄膜样品的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:取样品层,所述样品层包括陈底层以及设置在衬底层上的金属薄膜层,金属薄膜层包括工作部和密封部,在金属薄膜层的密封部上涂覆绝缘密封材料,并形成绝缘密封层,即得。

9.根据权利要求8所述的电化学测试用薄膜样品的制备方法,其特征在于:金属薄膜层的密封部上涂覆绝缘密封材料前,在金属薄膜的密封部上固定连接导电电极,固定连接导电电极包括如下步骤:在金属薄膜的密封部上涂覆银浆并形成第一银浆层,将导电电极的一端置于第一银浆层上,然后再在第一银浆层上涂覆银浆并形成第二银浆层,固化银浆,即得。

10.根据权利要求9所述的电化学测试用薄膜样品的制备方法,其特征在于:所述固化银浆是在80~200℃真空干燥0.5~2h。

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