[发明专利]转印装置以及转印方法有效
申请号: | 201810365477.8 | 申请日: | 2018-04-23 |
公开(公告)号: | CN108732798B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 小久保光典;杉浦裕喜;藤原茂;桥本有纪 | 申请(专利权)人: | 东芝机械株式会社 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李鹏宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 以及 方法 | ||
1.一种转印装置,其特征在于,具备基板设置部、模具推送辊和材料回收部,
所述基板设置部设置有基板,该基板设有通过被照射规定波长的电磁波而硬化的未硬化的材料,
所述模具推送辊缠挂有模具,该模具形成有规定转印图案,所述模具推送辊通过相对于被设置在所述基板设置部的所述基板移动,向所述基板推送所述模具,
所述材料回收部在所述模具推送辊的中心轴的方向上延伸并位于在所述模具推送辊的移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置,在通过所述模具推送辊的移动向所述基板推送所述模具时,所述材料回收部回收从所述基板和所述模具之间且从在所述模具推送辊的所述移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置出来的所述未硬化的材料,
所述材料回收部具备材料回收块,所述材料回收块形成有用于吸引所述未硬化的材料的孔或者狭缝,
所述材料回收块在高度方向位于与所述基板相比靠上侧的位置,
在所述模具推送辊进行用于向被设置在所述基板设置部的所述基板推送所述模具的移动时,所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地移动。
2.如权利要求1所述的转印装置,其特征在于,
所述材料回收块相对于所述模具推送辊转动自由地被设置,被转动定位在回收所述未硬化的材料的回收位置和从该回收位置离开的避让位置。
3.如权利要求2所述的转印装置,其特征在于,
所述转印装置还具备缠挂有所述模具的辅助辊,用以避免在所述材料回收块位于所述避让位置时所述模具和所述材料回收块干扰。
4.如权利要求1所述的转印装置,其特征在于,
在所述模具推送辊进行用于向所述基板推送所述模具的移动时,所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地且有别于所述模具推送辊的移动地进行移动。
5.如权利要求1所述的转印装置,其特征在于,
所述转印装置还具备发出规定波长的电磁波的照射部,
所述照射部在模具推送辊移动的同时进行移动,依次向所述模具的推送结束的部位照射所述规定波长的电磁波,使所述未硬化的材料硬化。
6.一种转印方法,其特征在于,具备材料设置工序、基板设置工序、模具推送工序、材料回收工序、材料硬化工序和模具剥离工序,
在所述材料设置工序中,在基板的表面设置未硬化的材料,该未硬化的材料通过被照射规定波长的电磁波而硬化,
在所述基板设置工序中,将在表面设有在所述材料设置工序中未硬化的材料的基板设置在基板设置部,
在所述模具推送工序中,通过使缠挂有模具的模具推送辊相对于在所述基板设置工序中设置于所述基板设置部的所述基板移动,向被设置在所述基板设置部的设有所述未硬化的材料的所述基板推送所述模具,该模具形成有规定转印图案,
在所述材料回收工序中,当在所述模具推送工序中移动所述模具推送辊时和在所述模具推送工序中所述模具的推送结束时的至少一个时候,遍及所述模具推送辊的中心轴的方向地由材料回收部回收从所述基板和所述模具之间且从在所述模具推送辊的移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置出来的未硬化的材料,
在所述材料硬化工序中,在所述模具推送工序中所述模具向所述基板的推送结束的部位,向所述材料照射规定波长的电磁波,使所述材料硬化,
在所述模具剥离工序中,当在所述材料硬化工序中使所述材料硬化之后,将所述模具从所述基板以及所述材料剥下,
所述材料回收部具备材料回收块,所述材料回收块形成有用于吸引所述未硬化的材料的孔或者狭缝,
所述材料回收块在高度方向位于与所述基板相比靠上侧的位置,
在所述模具推送辊进行用于向被设置在所述基板设置部的所述基板推送所述模具的移动时,所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地移动。
7.如权利要求6所述的转印方法,其特征在于,
所述材料硬化工序是以下工序:在所述模具推送工序中的模具的推送全部结束之前,向模具的推送结束的部位依次照射所述电磁波,从而使所述材料逐步硬化。
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