[发明专利]一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备及其使用方法

说明书

本发明涉及ITO平面靶材生产设备领域，具体来说是一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备及其使用方法，所述定位设备包括用于与磨床相连接的放置底座，所述放置底座包括用于放置平面靶材的放置平台，所述放置底座还包括侧面与放置平台相连接的第一限位平台；所述放置平台上设有第一倾斜面；第一倾斜面底端靠近第一限位平台设置；所述定位设备还包括与放置平台搭配使用用于固定平面靶材的固定组件，所述固定组件包括固定平台，所述固定平台上设有与第一倾斜面相对应的第二倾斜面。本发明提供了一种用于平面靶材磨倒角的工装，在放置平台上设置第一倾斜面，从而可以实现平面靶材侧面倒角的铣磨出。

技术领域

本发明涉及ITO平面靶材生产设备领域，具体来说是一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备及其使用方法。

背景技术

ITO平面成品靶材，有时候需要把平面ITO靶材表面和四边研磨到规定尺寸，同时再对平面靶材边缘进行倒角处理，而对平面靶材倒角处理一般使用铣磨出操作，而现在正常平面ITO靶材是放在磨床磁台上进行研磨的，平面磨床砂轮和磨床磁台成平行，由于磨床砂轮和磁台都无法调整角度，故需设计一种可用于放置ITO平面靶材并使其达到所需要的研磨角度的工装，同时由于ITO靶材属易碎品，价格昂贵，普通放置ITO靶材的夹具工装，容易造成靶材崩边角、破裂，所以一种具有保护作用的定位工装也是现在所需要的。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够用于磨床加工平面靶材上倒角的定位设备。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备，所述定位设备包括用于与磨床相连接的放置底座，所述放置底座包括用于放置平面靶材的放置平台，所述放置底座还包括侧面与放置平台相连接的第一限位平台；所述放置平台上设有第一倾斜面；第一倾斜面底端靠近第一限位平台设置；所述定位设备还包括与放置平台搭配使用用于固定平面靶材的固定组件，所述固定组件包括固定平台，所述固定平台上设有与第一倾斜面相对应的第二倾斜面；所述第一倾斜面和第二倾斜面之间留有用于放置平面靶材的预留间隙。

所述放置平台下端面与第一限位平台下端面处于同一平面上，所述放置平台靠近第一限位平台一端的高度不大于第一限位平台高度。

所述固定平台包括第一固定平台以及侧面与第一固定平台相连接的第二固定平台；所述第一固定平台下端面与限位平台上端面相贴合，所述第二倾斜面设置在第二固定平台上；所述第一固定平台通过螺栓与第一限位平台相连接。

所述第一固定平台下端上设有定位凸起条，所述定位凸起条沿第一固定平台长度方向设置。

所述定位设备还包括设置在放置平台上用于平面靶材侧面定位的侧面定位组件，所述侧面定位组件包括定位板，所述定位板上设有用于螺栓穿过的定位槽，所述定位板通过螺栓穿过定位槽与第一倾斜面相连接，所述定位板与第一倾斜面相贴合。

所述定位设备包括两个侧面定位组件；两个所述侧面定位组件分布在第一倾斜面的两端，两个所述侧面定位组件对称设置。

所述定位槽为腰型通孔或者圆形通孔。

所述放置平台与第一限位平台连接处设有退料定位槽。

所述第一限位平台上设有第二限位平台，所述第二限位平台设置在第一限位平台远离放置平台的一侧。

一种用于ITO平面靶材铣倒角的定位设备的使用方法，所述使用方法包括如下步骤：

(1)把定位设备中的放置底座固定在磨床上；