[发明专利]用于测量计校零的治具在审
| 申请号： | 201810374186.5 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108827531A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张作瑞 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00;G01L27/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 校零 测量计 反光镜 直角镜筒 螺丝刀 水平镜筒 竖直镜 螺丝 竖直 治具 狭小空间 直角拐弯 转动调节 轴心线 侧方 直观 观察 | ||
1.一种用于测量计校零的治具，其特征在于，包括直角镜筒(1)、反光镜(2)及校零螺丝刀(3)；
所述直角镜筒(1)由相互垂直连通的水平镜筒(11)和竖直镜筒(12)所组成，所述反光镜(2)设置于直角镜筒(1)内的直角拐弯处，所述反光镜(2)的平面与水平镜筒(11)的轴心线之间呈45度角；
使用时，所述校零螺丝刀(3)竖直设于竖直镜筒(12)一侧，所述校零螺丝刀(3)转动调节测量计(5)的校零螺丝(51)而对所述测量计(5)进行校零，并通过直角镜筒(1)的水平镜筒(11)观察竖直镜筒(12)下方校零螺丝(51)的调节情况。
2.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述竖直镜筒(12)的筒壁上设有约束槽(121)，所述约束槽(121)用于防止所述校零螺丝刀(3)在调节校零螺丝(51)时发生倾斜，使用时，所述校零螺丝刀(3)贯穿所述约束槽(121)而设于竖直镜筒(12)一侧，所述约束槽(121)允许所述校零螺丝刀(3)在其内转动及上下移动。
3.如权利要求2所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述校零螺丝刀(3)上套设有一齿轮(4)，使用时，所述校零螺丝刀(3)上的齿轮(4)与所述校零螺丝刀(3)一同被约束在约束槽(121)中，所述约束槽(121)的尺寸被设置为限制齿轮(4)水平移动且适合齿轮(4)上下移动。
4.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述约束槽(121)水平方向上的横截面形状为大于半圆的圆弧形。
5.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述竖直镜筒(12)在远离所述反光镜(2)一端的筒壁上设有起照明作用的LED灯(13)。
6.如权利要求5所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述直角镜筒(1)的筒壁上设有与LED灯(13)相连接的用于对LED灯(13)进行供电的供电电池(14)。
7.如权利要求6所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述供电电池(14)为太阳能电池板。
8.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述竖直镜筒(12)的筒壁上还设有卡槽(122)，所述卡槽(122)用于与校零螺丝刀(3)相卡合而实现所述校零螺丝刀(3)的固定。
9.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述直角镜筒(1)的直径为40mm-60mm。
10.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述测量计(5)为干刻蚀设备的压力测量仪。
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