[发明专利]定位装置及三坐标测量仪

说明书

本发明涉及产品测量技术领域，提供一种定位装置及三坐标测量仪。该定位装置包括三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固定在工作台上的由三个定位部所确定的预设位置。在产品的位置固定后，可以对产品进行后续处理，并使后续的处理流程得到简化。该三坐标测量仪包括测量仪本体以及上述定位装置，定位装置固定在测量仪本体的工作台上。使用该三坐标测量仪对产品的三维尺寸进行多次测量时，可以通过定位装置对产品进行定位，无需每次建立测量坐标系，测量效率较高。

技术领域

本发明涉及产品测量技术领域，具体而言，涉及一种定位装置及三坐标测量仪。

背景技术

晶圆载具(Wafer Carrier)是半导体制造领域用于承载晶圆的一种装置，常见为圆盘状。为检测晶圆载具的加工质量，可以利用三坐标测量仪对晶圆载具的尺寸进行测量。三坐标测量仪是一种能够自动测量产品的三维尺寸的设备，常见的三坐标测量仪可以分为接触式、非接触式以及接触式与非接触式等类型。在测量时，将晶圆载具放置在三坐标测量仪的工作台上的某一位置，三坐标测量仪需要首先在该位置处建立起一个测量坐标系，然后才能基于该坐标系进行自动测量。然而，多次测量时每次晶圆载具在工作台上放置的位置并不一定相同，导致每次测量时三坐标测量仪都要在晶圆载具的放置位置处建立一个新的测量坐标系，需要耗费较长的时间，造成测量效率低下。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种定位装置及三坐标测量仪，以解决上述技术问题。

本发明的实施例通过以下技术方案实现：

第一方面，本发明实施例提供一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，包括：

三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固定在工作台上的由三个定位部所确定的预设位置。

通常而言，工作台为一个放置产品的平面，产品在工作台内有三个自由度，分别是x轴方向上的平移，y轴方向上的平移以及绕z轴进行旋转。通过。通过上述三个定位部的设置方式，能够对产品在工作台内的自由度作出限定，从而使得产品在其表面同时与三个定位部相接触时具有唯一确定的位置，即被固定在工作台的由三个定位部所确定的预设位置处。在产品的位置固定后，可以对产品进行后续处理，并使后续的处理流程得到简化。

例如该工作台可以是三坐标测量仪的工作台，产品可以是晶圆载具，通过使用本发明实施例提供的定位装置，每次测量时都可以将晶圆载具固定在同样的位置，三坐标测量仪不必每次都建立测量坐标系，提高测量效率。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，产品为圆盘状，三个定位部的连线构成的三角形的外接圆与产品的圆面相匹配。

圆盘状为一种常见的产品形状，例如很多晶圆载具即为圆盘状，对这类产品，定位部的分布位置是明确的，需要满足上述匹配条件。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，在第一方面的第二种可能的实施方式中，定位装置还包括：

连接部，三个定位部均设置在连接部上，连接部固定在工作台上，连接部将三个定位部连接为一个整体，可以增加定位装置的结构强度。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，在第一方面的第三种可能的实施方式中，连接部为L型，三个定位部中的第一定位部以及第二定位部凸出设置在连接部的第一侧边上，三个定位部中的第三定位部凸出设置在连接部的不同于第一侧边的第二侧边上。

L型的工件其形状常见，加工简单，易于大量生产，将三个定位部中的第一定位部以及第二定位部设置在第一侧边，将第三定位部设置在第三侧边也能够保证三个定位部呈三角形分布。