[发明专利]搬运装置及层叠体的制造方法

说明书

本发明提供能将片状构件以平坦状态搬运、抑制向片状构件产生褶皱且使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置、以及包括使用该搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。搬运装置用于搬运片状构件，具有：带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，且具有在厚度方向上贯穿的多个孔；吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。

技术领域

本发明涉及用于搬运片状构件的搬运装置及层叠体的制造方法。

背景技术

片状构件例如在吸附构件、印制布线基板及光学构件等各种领域中使用。这样的片状构件大多在包含其的层叠体的制造工序等中使用带状构件来搬运。

然而，当使用带状构件搬运片状构件时，片状构件有时会晃动。若片状构件晃动，则有时在片状构件产生卷曲或产生褶皱。

近年来，多使用薄型的片状构件，薄型的片状构件尤其容易产生褶皱、卷曲。当在片状构件产生褶皱、卷曲等时，作业效率变差，有可能对产品的成品率产生不良影响。

例如，在专利文献1(日本特开2008-53572号公报)中，作为抑制在多层印制布线基板的制造所使用的预浸材料片产生褶皱的尝试，公开了预浸材料片固定装置。

具体而言，公开了如下内容：使用包括对预浸材料片进行真空吸附的吸附工作台和抓住所述预浸材料片的周边部而使所述预浸材料片向所述吸附工作台上移动的移动部的预浸材料片固定装置，在预浸材料片固定装置中，所述吸附工作台具有一边赋予时间差一边独立地进行真空吸附的多个真空吸附部(专利文献1的权利要求1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-53572号公报

然而，在采用专利文献1所公开的抓住预浸材料片的周边部而将其向吸附工作台上吸附的技术的情况下，有时不能将片状构件载置为平坦的状态并搬运。另外，在采用专利文献1所公开的固定装置的情况下，存在不能去除在搬运中产生的褶皱这一问题。

另外，近年来，片状构件的厚度变薄，例如就光学层叠体所使用的片状构件而言，存在厚度为50～300μm的片状构件，要求能够以平坦的状态搬运、能够减少或抑制褶皱的产生且能够将所产生的褶皱伸展的搬运装置。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供能够将片状构件以平坦的状态搬运、另外能够抑制向片状构件产生褶皱且能够使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明包括以下内容。

[1]一种搬运装置，其用于搬运片状构件，

所述搬运装置的特征在于，具有：

带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及

吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，

并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。

[2]根据[1]所记载的搬运装置，其中，在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大。