[发明专利]清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

权利要求书

1.一种清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台上；

所述辅助载具包括载板及至少两个压块，所述载板上设置有安装槽，所述安装槽内开设有用于供清洗液流过的第一通孔，所述至少两个压块沿所述安装槽的边沿间隔均匀布置，每个所述压块可转动地设置在所述载板上，所述压块的转动轴位于所述压块的中部，所述压块被所述转动轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述载板的上方，所述第二部分延伸到所述载板的下方，所述压块的重心位于所述第二部分上，所述第一部分与所述第二部分朝向所述载板的一侧之间的夹角为θ，120°≤θ＜180°。

2.根据权利要求1所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述压块上设置有第二通孔，所述第二通孔内插设有所述转动轴，所述转动轴与所述第二通孔为间隙配合；

所述载板上设置有至少两对安装耳部，所述至少两对安装耳部与所述至少两个压块一一对应，所述压块的转动轴的两端分别固定在一对所述安装耳部上。

3.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一部分的端部设置有弧形凸起。

4.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述安装槽的深度为2mm。

5.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述安装槽的形状为长方体。

6.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一通孔为矩形孔。

7.根据权利要求6所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述第一通孔的相对设置的两侧上分别设置有一个半圆形通孔。

8.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述辅助载具采用聚醚醚酮制作。

9.根据权利要求1或2所述的清洗光刻版的辅助载具，其特征在于，所述载板为长方体状，所述载板的四角处设置有直角凹槽。

10.一种光刻版清洗机，其特征在于，所述光刻版清洗机包括如权利要求1-9任一项所述的清洗光刻版的辅助载具。