[发明专利]基板周转载盘有效
| 申请号： | 201810381661.1 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108572471B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张夏;黄建龙;郑绍谷 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 周转 | ||
1.一种基板周转载盘，其特征在于，包括：至少一个承载盘(1)，每一个承载盘(1)均包括：底面(10)以及与所述底面(10)相连并包围所述底面(10)的侧壁(20)；
所述底面(10)包括：承载凸台(11)以及沿所述承载凸台(11)四周延伸的联通槽(12)，所述承载凸台(11)中形成有第一凹槽(13)，所述侧壁(20)中形成第二凹槽(14)，所述联通槽(12)、第一凹槽(13)及第二凹槽(14)的凹陷方向垂直于所述底面(10)，所述第一凹槽(13)和第二凹槽(14)均与所述联通槽(12)联通；
所述第一凹槽(13)包括多个间隔分布的主凹陷区(131)、连接各个主凹陷区(131)的第一通道(132)以及连接主凹陷区(131)和联通槽(12)的第二通道(133)。
2.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述主凹陷区(131)的形状为三角形。
3.如权利要求2所述的基板周转载盘，其特征在于，所述主凹陷区(131)的数量为8个，每4个主凹陷区(131)为一组，位于同一组的主凹陷区(131)围绕同一个中心点均匀分布，位于不同组的主凹陷区(131)围绕不同的中心点分布。
4.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述侧壁(20)的顶部至所述第二凹槽(14)的底部的距离大于所述侧壁(20)的顶部至所述联通槽(12)的底部的距离。
5.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述第二凹槽(14)的数量为多个，所述多个第二凹槽(14)沿所述侧壁(20)均匀分布。
6.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述基板周转载盘的材料为塑料。
7.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述承载盘(1)的数量为4个，所述4个承载盘(1)排列成2行2列。
8.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述承载盘(1)的形状为矩形。
9.如权利要求1所述的基板周转载盘，其特征在于，所述承载凸台(11)的顶面至所述联通槽(12)的底部的距离与所述承载凸台(11)的顶面至所述第一凹槽(13)的底部的距离相等。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810381661.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
